[實用新型]一種利用彈簧夾子的晶圓夾持裝置

有效

• 申請號: 201220307350.9
• 申請日: 2012-06-27
• 公開（公告）號: CN202678300U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 楊開明;朱煜;李鑫;汪勁松;尹文生;胡金春;張鳴;徐登峰;穆海華;崔樂卿;余東東
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種利用彈簧夾子的晶圓夾持裝置，其特征在于：所述裝置含有一個薄片V型托盤（101），托盤左端和右端各安裝有兩個晶圓夾子（108）和兩個凸起支撐塊（106）；四個晶圓夾子(108)平均布置于一個與晶圓同心的圓周上；四個凸起支撐快（106）平均布置于一個與晶圓同心的圓周上；托盤右端兩側各有兩個螺紋孔，托盤右端的兩個晶圓夾子（108）位置根據晶圓直徑尺寸的不同安裝在不同螺紋孔中進行調整；凸起支撐塊（106）上表面為平面，用以支撐晶圓；每個晶圓夾子（108）包括支架（102）、連桿（104）、彈簧（105）以及滑塊（103）；支架（102）為圓柱形，與薄片V型托盤（101）為螺紋連接；滑塊（103）開有通孔，沿連桿（104）作直線移動，滑塊(103)側面由傾斜部分與垂直部分組成；連桿（104）一端與支架固定連接，另一端支撐滑塊；彈簧（105）套在連桿（104）上，一端與支架（102）固定連接，另一端與滑塊（103）固定連接。