[實用新型]基于硅玻鍵合的上鎖緊壓力傳感器有效
| 申請號： | 201220306401.6 | 申請日： | 2012-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN202676330U | 公開（公告）日： | 2013-01-16 |
| 發明（設計）人： | 段紅軍;汪超;李瑞清;熊盼;汪文 | 申請（專利權）人： | 上海文襄汽車傳感器有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/18 | 分類號： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 陳亮 |
| 地址： | 201619 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 硅玻鍵合 上鎖 壓力傳感器 | ||
1.一種基于硅玻鍵合的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，包括電器接口(1)、信號調理電路(2)、傳感器底座殼體(3)、轉接板(4)、玻璃環(5)、密封件(7)、硅壓阻敏感元件(9)、鎖緊環(10)、綁線(20)以及信號線(21)；其中
所述硅壓阻敏感元件(9)和所述玻璃環(5)通過硅玻鍵合工藝形成硅壓阻敏感芯體；
所述硅壓阻敏感芯體、所述密封件(7)、所述鎖緊環(10)、所述信號調理電路(2)和所述電器接口(1)安裝于所述傳感器底座殼體(3)內，所述玻璃環(5)與所述傳感器底座殼體(3)之間通過所述密封件(7)密封；
所述綁線(20)的一端與所述硅壓阻敏感元件(9)綁定連接，另一端與所述轉接板(4)相連接；以及
所述信號調理電路(2)的一端通過所述信號線(21)與所述轉接板(4)相連接，另一端通過所述電器接口(1)連接到汽車的控制部分。
2.根據權利要求1所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，還包括隔片(8)，安裝于所述傳感器底座殼體(3)內，位于所述玻璃環(5)與所述鎖緊環(10)之間。
3.根據權利要求2所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述隔片(8)為聚四氟乙烯材料或者金屬材料。
4.根據權利要求1所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述傳感器底座殼體(3)和所述鎖緊環(10)采用焊接或者螺紋的方式固定連接。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述玻璃環(5)為Pyrex7740或者GG-17材料。
6.根據權利要求1所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述密封件(7)為O形或者方形密封膠圈。
7.根據權利要求1所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述硅壓阻敏感元件(9)上設有惠斯頓電橋，所述惠斯頓電橋包括應變電阻，所述應變電阻與所述綁線(20)的一端綁定連接。
8.根據權利要求1或7所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述綁線(20)為金絲、鋁絲或銅絲。
9.根據權利要求1所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述轉接板(4)和信號線(21)采用柔性電路板或者柔性扁平電纜的形式。
10.根據權利要求1至9中任一項所述的上鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述信號線(21)替換為排針。
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