[實用新型]一種軸向運動電熱式微鏡的自動測試系統

有效

• 申請號: 201220304912.4
• 申請日: 2012-06-27
• 公開（公告）號: CN202693261U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 蘭樹明;謝會開;陳巧;傅霖來;周亮;丁金玲;王東琳
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓高潮

1.一種軸向運動電熱式微鏡的自動測試系統，其特征在于：其包括測試光學系統和自動測試控制電路系統；

所述測試光學系統包括激光光源、第一分光鏡、第二分光鏡、參考鏡、軸向運動電熱式微鏡裝置、光電轉換器PD和位置敏感傳感器PSD；激光光源經過第一分光鏡后分為兩束激光，一束打到電熱式微鏡裝置上，一束打到參考鏡上；第一分光鏡出射后到微鏡的距離和到參考鏡的距離大致相等；兩束光分別再反射回第一分光鏡并匯聚到第二分光鏡上，第二分光鏡將干涉光分成兩束，一束打在位置敏感傳感器PSD上，一束打在光電轉換器PD上；

所述自動測試控制電路系統包括中央處理器，輸出數模轉換模塊，信號整形模塊，信號采集模塊和安全保護模塊；中央處理器是程序運算的中心，數模轉換模塊是將中央處理器的數字信號轉換成模擬電壓信號，模擬電壓信號經過信號整形模塊得到設定的驅動微鏡的信號加載到微鏡上；微鏡軸向位移導致干涉條紋的明暗變化，?光電轉換器PD及位置敏感傳感器PSD光電轉換后輸出相應的電壓值，將信息通過信號采集模塊采集到中央處理器內部；安全保護模塊主要避免系統上電瞬間及工作中瞬時大電壓對微鏡的沖擊。