[實用新型]一種小功率集成微波微等離子體源有效
| 申請號： | 201220304537.3 | 申請日： | 2012-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN202713770U | 公開（公告）日： | 2013-01-30 |
| 發明（設計）人： | 廖斌;王柯喬;黃加華;朱守正 | 申請（專利權）人： | 華東師范大學 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海麥其知識產權代理事務所(普通合伙) 31257 | 代理人： | 董紅曼 |
| 地址： | 200062 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 功率 集成 微波 等離子體 | ||
1.一種小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，包括：
鎖相環頻率合成器（1）；
可調衰減器（2），與所述鎖相環頻率合成器（1）連接；
寬帶功率放大器（3），與所述可調衰減器（2）連接；
環形器（4），與所述寬帶功率放大器（3）連接；
平面微帶漸變螺旋電感耦合線圈（6），與所述環行器（4）連接。
2.如權利要求1所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，所述鎖相環頻率合成器（1）的頻率輸出范圍為2.3GHz至2.6GHz。
3.如權利要求1所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，所述可調衰減器（2）的衰減范圍在-2dB至-17dB。
4.如權利要求1所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，所述寬帶功率放大器（3）的功率輸出范圍為+20dBm至+40dBm，峰值功率大于43dBm。
5.如權利要求1所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，所述環形器（4）的頻率范圍為2.3GHz至2.5GHz，插入損耗為0.25dB至0.3dB，隔離度為20dB至25dB。
6.如權利要求1所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，所述平面微帶漸變螺旋電感耦合線圈（6）的匝數為3；所述平面微帶漸變螺旋電感耦合線圈（6）的線圈寬度為100μm至400μm，線圈間距為100μm至400μm,，所述線圈寬度與線圈間距由外圈向內圈逐漸減小。
7.如權利要求1所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，進一步包括匹配負載（5）；所述匹配負載（5）與所述環形器（4）連接。
8.如權利要求7所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，所述匹配負載（5）的頻率范圍為直流至2.7GHz，回波損耗大于20dB，功率容量為150瓦。
9.如權利要求1所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，進一步包括匹配電路（7），所述匹配電路（7）連接所述環形器（4）與平面微帶漸變螺旋電感耦合線圈（6）。
10.如權利要求1所述小功率集成微波微等離子體源，其特征在于，所述鎖相環頻率合成器（1）、可調衰減器（2）、寬帶功率放大器（3）以及環形器（4）設置在屏蔽盒內。
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