[實用新型]一種泡泡高度測試儀

有效

• 申請號: 201220303696.1
• 申請日: 2012-06-27
• 公開（公告）號: CN202676092U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 周嬋華;楊明雄;徐晶;陳東淼;徐斌
• 申請（專利權）人: 長興（廣州）光電材料有限公司
• 主分類號: G01B5/02
• 分類號: G01B5/02
• 代理公司: 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃為

技術領域

本實用新型涉及一種測試儀,具體涉及一種泡泡高度測試儀。

背景技術

干膜光阻是電子工業中大規模集成電路微細加工過程中不可缺少的基礎性關鍵材料，主要應用于印刷電路板(PCB)工業、導線架等精密蝕刻工業及平面顯示器工業之影像轉移制程上，干膜的應用制程主要如下：壓膜→曝光→顯影→蝕刻→剝膜。

隨著自動化程度的提高，干膜的顯影制程主要采用滾輪傳動與高壓噴嘴噴淋結合的方式，在干膜的顯影過程中，由于光阻在顯影液中逐漸的溶解和顯影液的不斷循環，以及滾輪傳動與噴壓的影響，顯影液容易產生大量泡泡，泡泡的存在不但影響觀測與記錄，同時對顯影的質量及后續制程會造成很大影響，為評估某一干膜的顯影特性，判斷顯影時是否需在顯影液中添加消泡劑或者涂布前需對干膜光阻配方進行調整，對顯影過程中產生的泡泡高度評估與測定至關重要。目前，市場上暫無此類相關測試儀器及測試方法。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種泡泡高度測試儀，用于實驗室測試干膜顯影時產生的泡泡的高度。

為實現該目的，本實用新型采用了如下的技術方案：

一種泡泡高度測試儀，包括化學泵、電路控制箱、液位槽、連接管、制冷設備、基座和主架柜，所述化學泵、電路控制箱和主架柜固定于所述基座，所述電路控制箱與所述化學泵通過控制線連接，所述連接管與所述液位槽連接，所述液位槽設于所述主架柜上部，所述制冷設備設于所述液位槽；

所述制冷設備包括冷水輸入管、冷水輸出管和冷凝管，所述冷凝管設于所述液位槽內，所述冷凝管兩端分別連接冷水輸入管和冷水輸出管；

所述連接管包括輸液管、回流管、排液管、廢液管和三通管，所述輸液管下端與所述化學泵連接，輸液管上端設于所述液位槽側面，且延伸至液位槽內，所述回流管與所述化學泵連接，所述排液管設于所述液位槽底部排液口，所述回流管和廢液管通過三通管連接至排液管。

優選地進一步技術改進，本實施例中，所述基座下方設有四個腳輪，方便將整個設備在車間移動，以及清洗和維修。

優選地進一步技術改進，本實施例中，所述液位槽上方設有透明有機玻璃蓋，避免在操作過程中液體濺出槽外，污染環境，同時可進行操作監控。

優選地進一步技術改進，本實施例中，所述液位槽側面設有玻璃觀測口，且所述玻璃觀測口上設有刻度尺，便于操作人員讀取數據。

優選地進一步技術改進，本實施例中，所述連接管為PVC管，PVC材料能避免管道氧化，抗腐蝕性好。

優選地進一步技術改進，本實施例中，所述輸液管上端設有壓力表和壓力閥，便于操作人員實時監控和記錄。

優選地進一步技術改進，本實施例中，所述排液管上設有第一單向閥。

優選地進一步技術改進，本實施例中，所述廢液管上設有第二單向閥。

優選地進一步技術改進，本實施例中，所述冷水輸入管和冷水輸出管上分別設有開關。

本實用新型對比現有技術有如下優點：

1.結構簡單，操作方便，自制得到實驗室用干膜顯影泡泡高度測試儀，可模擬工業生產的實際過程，有效評估各種干膜的顯影特性。

2.投資低，維護和保養成本低，對生產具有重要的指導作用，有助于企業降低生產成本。

3.便于生產干膜的特性了解，及時調整生產比配，減少品質問題，提高生產效率。

4.及時測試泡泡的高度，以便及時調整生產工藝或配方，避免在干膜的應用過程中因顯影時產生過多的泡泡而影響后續的制程及產品質量。

附圖說明

附圖1為本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

現參照附圖，進一步詳細說明本實用新型。

如圖1所示，一種泡泡高度測試儀，包括化學泵1、電路控制箱2、液位槽3、連接管4、制冷設備5、基座6和主架柜7，化學泵1、電路控制箱2和主架柜7固定于基座6，電路控制箱2與化學泵1通過控制線21連接，連接管4與液位槽3連接，液位槽3設于主架柜7上部，制冷設備5設于液位槽3。

制冷設備5包括冷水輸入管51、冷水輸出管52和冷凝管53，冷凝管53設于液位槽3內，冷凝管53兩端分別連接冷水輸入管51和冷水輸出管52。

連接管4包括輸液管41、回流管42、排液管43、廢液管44和三通管45，輸液管41下端與化學泵1連接，輸液管41上端設于液位槽3側面，且延伸至液位槽3內，回流管42與化學泵1連接，排液管43設于液位槽3底部排液口，回流管42和廢液管44通過三通管45連接至排液管43。