[實用新型]一種晶體生長爐

有效

• 申請號: 201220299670.4
• 申請日: 2012-06-25
• 公開（公告）號: CN202658265U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 毛念新;嚴仲君;黃翔鄂;王新征
• 申請（專利權）人: 上海嘉森真空科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 金碎平

1.一種晶體生長爐，包括密封固定在腔體（4）內的坩堝（7）和主加熱器（6），所述主加熱器（6）設在坩堝（7）的外面，所述坩堝（7）和主加熱器（6）外設有隔熱屏，其特征在于，所述主加熱器（6）通過鎢環（2）和鎢棒電極（1）的一端相連，所述鎢棒電極（1）的另一端與腔體（4）上的水冷電極（9）相連。

2.如權利要求1所述的晶體生長爐，其特征在于，所述坩堝（7）頂部設有蓋屏（5），底部通過支撐柱（12）上，所述坩堝（7）的底部還設有輔助加熱器（10），所述主加熱器（6）為鼠籠式鎢桿加熱器，所述輔助加熱器（10）位于主加熱器（6）的外面，所述輔助加熱器（10）通過鎢棒電極（1）與腔體（4）上的水冷電極（9）相連。

3.如權利要求2所述的晶體生長爐，其特征在于，所述鎢棒電極（1）的一端用鉬螺栓緊固或焊接在鎢環（2）上；所述鎢環（2）為兩個半圓環，每個半圓環上連接有多個均勻分布的鎢棒電極（1）。

4.如權利要求3所述的晶體生長爐，其特征在于，每個半圓環上連接的鎢棒電極（1）的數目為三個。

5.如權利要求1～4任一項所述的晶體生長爐，其特征在于，所述鎢棒電極（1）截面為圓形或矩形。