[實用新型]雙壓電變形鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220297458.4
• 申請日: 2012-06-25
• 公開（公告）號: CN202661714U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設計）人: 徐宏來;何忠武;雒仲祥;李國會;向汝建
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院應用電子學研究所
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產(chǎn)權代理有限公司 51214
• 代理人: 卿誠;吳彥峰

技術領域

本實用新型屬于光學鏡頭技術領域，具體涉及一種雙壓電變形鏡，用于光學系統(tǒng)中的波像差校正。

背景技術

變形鏡是一種可用在光學系統(tǒng)中進行光束控制的新型光學器件，在軍事和民用市場兩方面都有良好的應用前景。

通常用于激光束控制的變形鏡有柱狀陶瓷變形鏡、微機電變形鏡以及雙壓電變形鏡。柱狀陶瓷變形鏡由于受到作動器幾何尺寸的限制，波前校正系統(tǒng)的空間分辨率較小，對高空間頻率的波面校正能力限制，且結構復雜，制作工藝繁瑣，價格昂貴。新興微機電變形鏡是利用半導體中相對成熟的一系列加工工藝，在微小尺寸范圍內(nèi)來實現(xiàn)一些傳統(tǒng)機械執(zhí)行器的功能，這種變形鏡的空間密度很高，但是由于微機電變形鏡尺寸微小，需要特定的加工設備，一般不易于實現(xiàn)。雙壓電變形鏡調(diào)制動態(tài)范圍大，結構簡單，成本低，易于實現(xiàn)在光路調(diào)節(jié)中補償像差。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型目的在于克服現(xiàn)有技術的不足，提供了一種結構簡單、成本低、工藝簡單且波前校正空間分辨率高的雙壓電變形鏡。

本實用新型的解決方案是：一種雙壓電變形鏡，包括反射鏡、壓電晶片和變形鏡支撐件，其特點是：壓電晶片由兩片負極面相粘合的壓電晶片一和壓電晶片二構成，壓電晶片一正極面粘接在反射鏡背面，壓電晶片二正極面分布有分電極，壓電晶片一和壓電晶片二的電極上連接電極引線，電極引線另一端連接供給電源。

本實用新型的工作原理是：由于壓電晶片一作為整體電極，壓電晶片二正極面刻蝕有小電極，在極化方向上施加電壓會引起材料沿垂直于極化方向伸展或收縮。通過對壓電晶片上不同電極上施加不同的電壓，將對反射鏡背面不同位置施加不同的壓力，引起反射鏡的面型變化，從而達到對波前的調(diào)制，實現(xiàn)在光路調(diào)節(jié)中補償像差。

本實用新型的解決方案中壓電晶片二的正極面至少刻蝕三圈電極，每圈電極至少排布三個電極。通過設置多極、多個電極，對不同的電極施加不同的電壓，可很精細的達到對波前的調(diào)制，實現(xiàn)在光路調(diào)節(jié)中補償像差。壓電晶片二的正極面可刻蝕三圈、四圈或五圈電極，每圈電極排布三個、四個或五個電極。

本實用新型的解決方案中變形鏡支撐件粘接在壓電晶片外的反射鏡背面，其高度大于兩片壓電晶片的厚度，以保護壓電晶片電極不受磨損，保護電極引線。

本實用新型的優(yōu)點：由于壓電晶片一作為整體電極，壓電晶片二正極面刻蝕有小電極，可根據(jù)輸入波前的激光束特性，在壓電晶片二正極面刻蝕不同排布的電極，通過對不同電極施加電壓，使鏡面發(fā)生變形，實現(xiàn)波前校正。該變形鏡可擬合不同類型的像差，波前校正空間分辨率高，結構簡單，成本低、工藝簡單。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型壓電晶片一的電極刻蝕圖；

圖3是本實用新型壓電晶片二的三圈、三個電極刻蝕圖；

圖4是本實用新型電晶片二的四圈、四個電極刻蝕圖；

圖5是本實用新型電晶片二的五圈、五個電極刻蝕圖。

具體實施方式

本實用新型實施例如圖所示：

圖1是本實用新型的雙壓電變形鏡的結構示意圖，雙壓電變形鏡由反射鏡1、壓電晶片一2、壓電晶片二3、支撐件5組成。壓電晶片一2和壓電晶片二3負極面相粘合，壓電晶片一2正極面粘接在反射鏡1背面，壓電晶片二3正極面分布有分電極。壓電晶片一2和壓電晶片二3負極連接電極引線6接地，壓電晶片二3正極面的分電極連接電極引線4，壓電晶片一2正極面連接電極引線5，電極引線4、5另一端連接供給電源。變形鏡支撐件粘接在壓電晶片外的反射鏡背面，其高度大于兩片壓電晶片的厚度，以保護壓電晶片電極不受磨損，保護電極引線。

圖2中壓電晶片一2其正極面為一整體離焦電極8，用于修正波像差中的離焦像差，電極8通過電極引線5連接供給電源。

圖3中壓電晶片二3其正極面刻蝕三圈電極（9、10、11），每圈中可排布三個電極，每個電極通過電極引線4連接供給電源。。根據(jù)輸入像差特性，對不同電極施加電壓，使鏡面發(fā)生變形，用于修正波像差。

圖4中壓電晶片二3其正極面刻蝕三圈電極（12、13、14），每圈中可排布四個電極，每個電極通過電極引線4連接供給電源。。根據(jù)輸入像差特性，對不同電極施加電壓，使鏡面發(fā)生變形，用于修正波像差。

圖5中壓電晶片二3其正極面刻蝕三圈電極（15、16、17），每圈中可排布五個電極，每個電極通過電極引線4連接供給電源。。根據(jù)輸入像差特性，對不同電極施加電壓，使鏡面發(fā)生變形，用于修正波像差。?