[實用新型]一種用于立體光學顯微鏡的樣品臺

有效

• 申請號: 201220297159.0
• 申請日: 2012-06-21
• 公開（公告）號: CN202794696U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 孫蓓瑤
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G02B21/26
• 分類號: G02B21/26;G02B21/34
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

技術領域

本實用新型屬于半導體制造業失效分析領域，特別是一種用于立體光學顯微鏡的樣品臺。?

背景技術

立體光學顯微鏡在半導體制造業中的應用越來越廣泛，立體光學顯微鏡的樣品臺是嵌在底座上面，且無法移動的，當實驗室操作人員使用其觀測樣品時，若需移動樣品，必須手動接觸樣品來找到目標位置，這樣既不便捷，又沾污了所觀測樣品的表面。?

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、使用方便、可以手工移動的用于立體光學顯微鏡的樣品臺，以克服現有技術存在的上述缺陷。?

本實用新型解決技術問題的技術方案如下：?

一種用于立體光學顯微鏡的樣品臺，其特征在于，其由下至上依次包括底座、滑座和載樣臺；所述底座與滑座之間設置縱向滑動機構，其包括相互配合滑動的縱向導軌和縱向滑塊；所述滑座與載樣臺之間設置橫向滑動機構，其包括相互配合滑動的橫向導軌和橫向滑塊，縱向滑動機構和橫向滑動機構相互垂直設置。?

由以上公開的技術方案可知，本實用新型通過將樣品臺分成三個部分，在三個部分之間通過設置滑動機構，從而實現上部載樣臺的左右和前后移動，當觀測樣品時，只需調整樣品臺的載樣臺的位置即可達到間接調節所要觀測的樣品位置的目的，從而避免了手動移動樣品而造成的樣品表面受損或受污染的情況，同時也為觀測樣品帶來了便捷，進而提高了失效分析的效率。?

此樣品臺主要針對電學失效分析（即electric?failure?analysis，簡稱EFA）領域，可用于觀測封裝測試后的小集成塊。由于此立體光學顯微鏡的優勢在于工作距離較長、倍率較低，故只要控制好物鏡到樣品臺的適宜的工作距離，然后將樣品放在樣品臺上，并且邊移動樣品臺，邊在目鏡中找到所要觀測的位置。?

這樣既減小了樣品受污染的程度，又大大提高了失效分析的效率。?

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例樣品臺移動一個方向后的立體結構示意圖；?

圖2為本實用新型一實施例樣品臺未移動前的立體結構示意圖；?

圖3為實施例的正視圖；?

圖4為實施例局部移動后的俯視圖。?

附圖標記如下：?

1、底座????????2、滑座????????3、載樣臺?

4、縱向導軌????5、縱向滑塊????6、橫向導軌?

7、橫向滑塊????8、滑槽????????9、手柄?

具體實施方式

下面結合附圖與具體實施例對本實用新型做進一步詳細的說明。?

如圖1~4所示，本實施例整個樣品臺在合攏狀態下呈圓柱狀，底座1、滑座2和載樣臺3均為圓形面板。整個樣品臺由下至上依次包括底座1、滑座2和載樣臺3；所述底座1與滑座2之間設置縱向滑動機構，其包括相互配合滑動的縱向導軌4和縱向滑塊5；所述滑座2與載樣臺3之間設置橫向滑動機構，其包括相互配合滑動的橫向導軌6和橫向滑塊7，縱向滑動機構和橫向滑動機構相互垂直設置。所述滑座2的側邊和載樣臺3的側邊均設有手柄9，為方便推動，手柄9均設置在滑動機構的起始部位一端。?

其中，橫向導軌6和縱向導軌4均成倒置的凹字形，其兩側板分別設有滑槽8，橫向滑塊7和縱向滑塊5分別嵌設在橫向導軌6和縱向導軌4的滑槽8內，沿滑槽8相對移動。?

更進一步，所述縱向導軌4固定設置在底座1的上表面上，所述縱向滑塊5固定設置在滑座2的下表面上，所述橫向導軌6固定設置在滑座2的上表面上，所述橫向滑塊7設置在載樣臺3的下表面上。當然也可以將縱向滑塊5固定設置在底座1的上表面上，所述縱向導軌4固定設置在滑座2的下表面上，所述橫向滑塊7固定設置在滑座2的上表面上，所述橫向導軌6設置在載樣臺3的下表面上。只要能實現滑座與底座之間、滑座與載樣臺之間的相對移動均可。所述橫向導軌5和縱向導軌4均有兩對，分別對稱設置在底座1和滑座2對稱軸的兩側。?

所述底座、滑座和載樣臺的厚度為7mm~10mm，優選的厚度為8mm。所述底座、滑座和載樣臺的直徑為150mm~200mm，優選的直徑為180mm。本實用新型樣品臺特別適用樣品尺寸（長×寬）≤90mm×90mm的小樣品。?