[實用新型]用于手動探針臺的多探針裝置

有效

• 申請號: 201220297076.1
• 申請日: 2012-06-21
• 公開（公告）號: CN202631590U
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 白月;唐涌耀
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

技術領域

本實用新型涉及一種實驗設備，且特別涉及一種用于手動探針臺的多探針裝置。

背景技術

探針臺是用在半導體領域對晶圓上的器件進行特性或故障分析而使用的精密機臺。在集成電路的研發、生產制造、實效分析過程中，經常要量測內部的電參數，由于制程特征尺寸越來越低，沒有辦法用簡單的萬用表、示波器的表筆來探測信號。手動分析探針臺能很好的幫助工程人員實現微小位置的電學參數測試。探針臺系統通常由承載臺、探針座、顯微鏡、測試機，以及其他輔助增強系統組成，一般配備數到通過探針實現芯片上每個PAD與測試機的穩定連接，由測試機判定晶圓上芯片的特性。

探針臺可分為手動、半自動/全自動探針臺。手動探針臺主要用來進行失效分析，器件特性分析和工藝驗證分析等解析和研發用途，適用于分析6寸/8寸/12寸晶圓、芯片，一般配備2～4顆探針座。

由于芯片的設計復雜度越來越高，一個芯片上的測試PAD多達成千上萬個，在具體測試中，經常需要對數個PAD同時施加條件進行測試。例如，失效分析在對某芯片電性能測試時，需要對某一列的多個PAD施加相同的電壓，如果使用目前的單探針針座，則需多次扎針過程，每次扎針過程中需要反復調節顯微鏡焦距和探針XYZ方向的坐標來確認探針是否與PAD充分接觸，保證扎針的成功率；然后在測試機上要重復多次設置每根探針的測試，操作復雜且效率低。如果還需要對其他的PAD施加條件，只能增加探針座的數量，極大地提高了測試成本。

實用新型內容

為了克服已有技術中存在的探針設備操作復雜且效率低的問題，本實用新型提供一種用于手動探針臺的多探針裝置。

為了實現上述目的，本實用新型提出一種用于手動探針臺的多探針裝置，包括：調節桿；多個探針，和所述調節桿垂直相連，且可相對于所述調節桿移動。

可選的，所述探針通過雙套環和所述調節桿相連。

可選的，所述雙套環包括相連的第一空心套環和第二空心套環。

可選的，所述調節桿通過所述第一空心套環，所述探針通過所述第二空心套環。

可選的，所述第一空心套環和所述第二空心套環為金屬材質。

可選的，所述第一空心套環和所述第二空心套環上各設置一螺紋孔，和所述螺紋孔配合使用的螺絲通過各自的螺紋孔可分別固定所述調節桿和所述探針。

可選的，所述調節桿上設置有刻度。

本實用新型用于手動探針臺的多探針裝置的有益效果主要表現在：本實用新型在半導體電性參數測試中，使用一種多探針裝置取代傳統單探針針座上的單根探針，打破了單探針針座只能對針對一個pad的局限性，這種多探針裝置可安裝多個并行探針，各個探針間距離可調，角度可調，解決了手動探針臺需要對多個pad施加相同測試條件時探針數量的限制，簡化了測試過程的復雜性，節約了測試成本和測試時間。

附圖說明

圖1為本實用新型用于手動探針臺的多探針裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型用于手動探針臺的多探針裝置的雙套環結構示意圖。

圖3為待測芯片版圖。

具體實施方式

下面結合實施例和附圖對本實用新型作進一步的描述。

圖1是本實用新型的一個實施例，圖1中，多探針裝置包括調節桿12和四個與所述調節桿12垂直相連的探針11，探針11的數量可以根據實際情況決定。探針11可相對于所述調節桿12移動，移動方式主要包括以下三種：1.每根探針11相對于調節桿12可以水平移動，調節桿12上設置有刻度，可以清楚顯示探針11移動以及彼此間相隔的距離；2.每根探針11相對于調節桿12的角度可手動調節；3.每根探針11相對于調節桿12在垂直方向上可以上下調節。

上述三種移動方式通過一種雙套環結構實現，請參考圖2，雙套環13和14包括相連的第一空心套環14和第二空心套環13，其中調節桿12通過所述第一空心套環14，探針11通過所述第二空心套環13，上述第一空心套環14和第二空心套環13均為金屬材質，由于探測的需要，探針11和調節桿12也均為金屬，為了固定調節桿12和第一空心套環14，在第一空心套環14上設置一螺紋孔，用一和螺紋孔合使用的螺絲15穿過螺紋孔，螺絲15的頭部頂在調節桿12上，因此固定調節桿12；為了固定探針11和第二空心套環13，在第二空心套環13上也同樣設置一螺紋孔，用一和螺紋孔合使用的螺絲（圖中未示）穿過螺紋孔，螺絲的頭部頂在探針11上，因此固定探針。優選的，螺紋孔為內六角螺絲孔，配合使用的是內六角螺絲。當螺絲向內旋進時，調節桿12和探針11則固定于套環13和14中。