[實用新型]旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220292887.2
• 申請日: 2012-06-20
• 公開（公告）號: CN202643833U
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周琦;李秀軍;桂鯤;袁洪
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：包括圓盤編碼器、傳感系統(tǒng)與控制電路，所述圓盤編碼器固定安裝于旋轉(zhuǎn)組件的底部，所述圓盤編碼器為圓盤結(jié)構(gòu)，所述傳感系統(tǒng)從所述圓盤編碼器采集信號，所述傳感系統(tǒng)與所述控制電路連接，所述控制電路與機臺終端連接，所述控制電路包括角度計算處理器與時間補償處理器。

2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述圓盤編碼器的周圍分布有小齒。

3.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述傳感系統(tǒng)包括激光管與高頻光電傳感器，所述激光管將所述小齒投射到所述高頻光電傳感器上。

4.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述高頻光電傳感器為電荷耦合元件。

5.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：還包括一個太陽能電池板，所述太陽能電池板為所述控制電路供電。

6.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述圓盤編碼器的周圍均勻分布360個所述小齒。

7.如權(quán)利要求6所述的旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述小齒的寬度為0.4毫米，所述小齒的齒槽深度為3.0mm。

8.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)位置監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述圓盤編碼器為鈦合金材質(zhì)。

9.如權(quán)利要求1所說的旋轉(zhuǎn)為監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述圓盤編碼器上設(shè)有三個半徑相同的大孔，所述三個大孔圍繞著圓盤編碼器的圓心均勻分布。?