[實(shí)用新型]用于PTFE的等離子處理機(jī)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220291124.6 | 申請日： | 2012-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN202738270U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 董曉俊 | 申請（專利權(quán)）人： | 艾威爾電路（深圳）有限公司 |
| 主分類號： | H05K3/26 | 分類號： | H05K3/26;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京方圓嘉禾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11385 | 代理人： | 高萍 |
| 地址： | 518105 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 ptfe 等離子 處理機(jī) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.用于PTFE的等離子處理機(jī)，包括機(jī)體外殼，其特征在于外殼內(nèi)安裝有真空腔體、高頻等離子體發(fā)生器、真空泵、充氣泵、控制電路，其中真空腔體通過氣體管道和真空泵、充氣泵連接，高頻等離子體發(fā)生器與真空腔體連接，控制電路與高頻等離子體發(fā)生器連接，真空腔體上設(shè)有等離子體噴射管道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PTFE的等離子處理機(jī)，其特征在于所述氣體管道上設(shè)有閥門。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PTFE的等離子處理機(jī)，其特征在于所述控制電路連接有顯示屏。
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