[實用新型]紫外可見波段高反射率高穩定性反射鏡

有效

• 申請號: 201220289773.2
• 申請日: 2012-06-19
• 公開（公告）號: CN202758090U
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 李建潮;楊靖輝;龐華華
• 申請（專利權）人: 宜興市晶科光學儀器有限公司
• 主分類號: G02B5/08
• 分類號: G02B5/08;G02B1/10;B32B15/04;B32B9/04
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 徐冬濤;李曉峰

技術領域

本實用新型屬于光學儀器領域，本實用新型是對反射鏡結構的改進，特別適用于在紫外光和可見光波長范圍的反射鏡結構。具體涉及一種紫外可見波段高反射率高穩定性反射鏡。

背景技術

在科學分析儀器例如光譜儀器、色譜儀器等，在光路中使用反射鏡片比較普遍。現在制造紫外可見波長反射鏡片的技術是在以玻璃為基體的表面上鍍鋁膜，或者在鋁膜的基礎上再鍍一層二氧化硅。僅鍍鋁膜后，反射率下降很快，一般一個月后在200nm處的反射率＜80%，三個月后在200nm處的反射率＜75%。而在鋁膜上再鍍一層二氧化硅后，在200nm處的反射率＜80%，滿足不了光譜、色譜儀器的要求。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服上述已有技術的不足，提供一種紫外可見波段高反射率高穩定性反射鏡。所述的反射鏡在紫外可見光波長范圍內有較高反射率，且反射率保持穩定。

本實用新型的目的可以通過以下技術方案實現：

一種紫外可見波段高反射率高穩定性反射鏡，包括玻璃基板、過渡層、金屬層、氟化物和保護層，所述的玻璃基板、過渡層、金屬層、氟化物層和保護層依次設置。

所述的過渡層為鎳，所述的金屬層為鋁、所述的氟化物層依次由冰晶石層和氟化鎂層組成，所述的保護層依次由二氧化硅層和氟化鈰層組成。

所述過渡層鎳的幾何厚度為10～20納米，所述金屬層鋁的幾何厚度為60～90納米，所述冰晶石層的幾何厚度為5～15納米，所述氟化鎂層的幾何厚度為5～20納米，所述二氧化硅層的幾何厚度為10～25納米，所述氟化鈰層的幾何厚度為10～20納米。

上述的紫外可見波段高反射率高穩定性反射鏡，采用以下方法制備：（1）在基板上鍍過渡層鎳，溫度80℃～200℃；（2）在過渡層上鍍金屬層鋁，溫度40℃～100℃；（3）在金屬層上鍍冰晶石層，溫度40℃～100℃；?（4）在冰晶石層上鍍氟化鎂層，溫度40℃～100℃；（5）在氟化鎂層上鍍二氧化硅層，溫度40℃～100℃；（6）在二氧化硅層上鍍氟化鈰層，溫度40℃～70℃。

本實用新型與現有技術相比有如下優點：

本實用新型的反射鏡可在紫外和可見光范圍內使用，比較現有技術相同使用范圍反射鏡，反射率高，在190nm～300nm反射率＞92%，在紫外可見波長反射率穩定性高，紫外可見波段反射率無明顯下降，一年內190nm～300nm反射率仍≥92%。

附圖說明

圖1本實用新型紫外可見波段高反射率高穩定性反射鏡結構示意圖。

具體實施方式

實施例1

如圖1所示的紫外可見波段高反射率高穩定性反射鏡，包括玻璃基板1、過渡層2、金屬層3、氟化物和保護層，所述的玻璃基板1、過渡層2、金屬層3、氟化物層和保護層依次設置。

所述的過渡層為鎳，所述的金屬層為鋁、所述的氟化物層依次由冰晶石層4和氟化鎂層5組成，所述的保護層依次由二氧化硅層6和氟化鈰層7組成。

所述過渡層鎳的幾何厚度為15納米，所述金屬層鋁的幾何厚度為75納米，所述冰晶石層的幾何厚度為10納米，所述氟化鎂層的幾何厚度為10納米，所述二氧化硅層的幾何厚度為15納米，所述氟化鈰層的幾何厚度為15納米。

采用以下方法制備：（1）在基板上鍍過渡層鎳，溫度150℃；（2）在過渡層上鍍金屬層鋁，溫度70℃；（3）在金屬層上鍍冰晶石層，溫度70℃；?（4）在冰晶石層上鍍氟化鎂層，溫度70℃；（5）在氟化鎂層上鍍二氧化硅層，溫度70℃；（6）在二氧化硅層上鍍氟化鈰層，溫度55℃。

反射率穩定性的測試方法為：反射率檢測方法是用光譜儀進行測試，是本領域技術人員公知的。在第一次反射率測試以后將樣品在正常工作條件下（溫度5℃～35℃，相對濕度85%，室內無腐蝕性氣體）放置一年進行第二次測試，對比二者的測試數據確定其穩定性。本實用新型的反射鏡可在紫外和可見光范圍內使用，比較現有技術相同使用范圍的反射鏡，反射率高，在190nm～300nm反射率＞92%，在紫外可見波長反射率穩定性高，紫外可見波段反射率無明顯下降，一年內190nm～300nm反射率仍≥92%。