[實用新型]一種產(chǎn)水電阻率為18 MΩ·cm的超純水制取裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220286075.7
• 申請日: 2012-06-18
• 公開（公告）號: CN202705153U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張建鵬;鐘麗云;劉通;許嘉龍
• 申請（專利權(quán)）人: 上海問鼎環(huán)保科技有限公司;上海問鼎水處理工程有限公司
• 主分類號: C02F9/06
• 分類號: C02F9/06
• 代理公司: 上海世貿(mào)專利代理有限責任公司 31128
• 代理人: 葉克英

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及純水制取，特別是一種產(chǎn)水電阻率為18?MΩ·cm的超純水制取裝置。

背景技術(shù)

超純水對許多工業(yè)工程非常重要，比如：半導體制造業(yè)和制藥業(yè)等。超純水是純度極高的水，其電離雜質(zhì)的含量用水的電阻率數(shù)值來衡量。理論上，純水中只有H離子和OH離子參加導電，在25℃時超純水的電阻率極限值接近于18.3MΩ·cm。而目前超純水的制取工藝無法保證水質(zhì)有極高的純度，電離很難達到此電阻率。因此，亟待開發(fā)出一種新型的超純水制取裝置。

實用新型內(nèi)容

本實用新型目的是提供一種處理裝置簡單，包括所有處理過程都自動進行，而且能自動記錄超純水制取全過程的裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：一種產(chǎn)水電阻率為18?MΩ·cm的超純水制取裝置，包括：PLC控制系統(tǒng)、加藥系統(tǒng)，其特征在于，還包括順序管路連接的進水端、換熱器、自清洗過濾器、超濾系統(tǒng)、超濾水箱、一級反滲透系統(tǒng)、中間水箱、二級反滲透系統(tǒng)、滲透水箱、第一紫外殺菌燈、過濾器、EDI系統(tǒng)、超純水箱、拋光混床、第二紫外殺菌燈和出水端。

所述加藥系統(tǒng)包括但不限于絮凝藥劑加藥系統(tǒng)、殺菌劑加藥系統(tǒng)、還原劑加藥系統(tǒng)和阻垢劑加藥系統(tǒng)。

所述換熱器和自清洗過濾器之間的管路分別與絮凝藥劑加藥系統(tǒng)和殺菌劑加藥系統(tǒng)管路連接，超濾系統(tǒng)和超濾水箱之間的管路分別與還原劑加藥系統(tǒng)和阻垢劑加藥系統(tǒng)管路連接。

所述進水端與換熱器之間設(shè)有進水泵，超濾水箱與一級反滲透系統(tǒng)之間設(shè)有一級反滲透高壓泵，中間水箱與二級反滲透系統(tǒng)之間設(shè)有二級反滲透高壓泵，反滲透水箱和第一紫外殺菌燈之間設(shè)有EDI水泵，超純水箱和拋光混床之間設(shè)有超純水泵。

所述PLC控制系統(tǒng)分別與進水泵、超濾系統(tǒng)、一級反滲透系統(tǒng)、二級反滲透系統(tǒng)、一級反滲透高壓泵、二級反滲透高壓泵、EDI水泵、EDI系統(tǒng)、超純水泵和加藥系統(tǒng)的控制點連接。

本實用新型利用了全膜法技術(shù)，并利用PLC進行全自動化控制，可以快速、高效、節(jié)能地制取高純水。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1-絮凝藥劑加藥系統(tǒng)，2-殺菌劑加藥系統(tǒng)，3-還原劑加藥系統(tǒng)，4-阻垢劑加藥系統(tǒng)，5-進水泵，6-換熱器，7-自清洗過濾器，8-超濾系統(tǒng)，9-超濾產(chǎn)水箱，10-一級反滲透高壓泵，11-一級反滲透系統(tǒng)，12-中間水箱，13-二級反滲透高壓泵，14-二級反滲透系統(tǒng)，15-反滲透水箱，16-EDI水泵，17-第一紫外殺菌燈，18-過濾器，19-EDI系統(tǒng)，20-超純水箱，21-超純水泵，22-拋光混床，23-第二紫外殺菌燈，24-?PLC控制系統(tǒng)。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作詳細說明。

圖1中所示的是一種產(chǎn)水電阻率為18?MΩ·cm的超純水制取裝置，分為預處理系統(tǒng)、預脫鹽系統(tǒng)和精脫鹽處理系統(tǒng)。

所述預處理系統(tǒng)包括進水泵5、板式換熱器6、自清洗過濾器7、超濾系統(tǒng)8、超濾水箱9、加藥系統(tǒng)（絮凝藥劑加藥系統(tǒng)1、殺菌劑加藥系統(tǒng)2、還原劑加藥系統(tǒng)3和阻垢劑加藥系統(tǒng)4），主要用于去除水中的懸浮物、膠體、有機物等，保證出水有機物含量及污染指數(shù)（SDI）等指標滿足反滲透進水要求，并且防止?jié)馑诜礉B透膜的一側(cè)結(jié)垢。

其中，板式換熱器6，主要作用在于通過換熱以提高出水的水溫，從而為后續(xù)膜系統(tǒng)裝置提供穩(wěn)定的水溫，保持相對穩(wěn)定的產(chǎn)水通量，尤其在冬季水溫低時對后續(xù)膜系統(tǒng)有充足的產(chǎn)水量是必要的保證措施。

自清洗過濾器7，初步攔截水體中的微小顆粒、懸浮物等雜質(zhì)，保護超濾膜，確保其長期、穩(wěn)定使用。

超濾系統(tǒng)8，用于除去水中的微粒、膠體、細菌、病毒、熱源、蛋白質(zhì)及大分子有機物，使水得以凈化。

加藥系統(tǒng)為控制水中微生物的生長、防止結(jié)垢等。

所述預脫鹽系統(tǒng)包括一級反滲透高壓泵10、一級反滲透系統(tǒng)11、中間水箱12、二級反滲透高壓泵13、二級反滲透系統(tǒng)14和反滲透水箱15，主要用于去除水中各種溶解固形物及鹽分。

所述精處理系統(tǒng)包括EDI水泵16、第一紫外殺菌燈17、過濾器18、EDI系統(tǒng)19、超純水箱20、超純水泵21、拋光混床22和第二紫外殺菌燈23，主要用于進一步去除水中各種溶解固形物及鹽分。出水水質(zhì)將完全達到并優(yōu)于除鹽水系統(tǒng)的水質(zhì)要求。

其中，第一和第二紫外殺菌燈控制細菌總數(shù)，避免細菌對EDI系統(tǒng)的影響。