[實用新型]光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220284375.1
• 申請日: 2012-06-15
• 公開（公告）號: CN202720190U
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發(fā)明（設計）人: 張晶;張小平;劉佳
• 申請（專利權）人: 重慶同博測控儀器有限公司
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45;G01N21/01
• 代理公司: 北京海虹嘉誠知識產權代理有限公司 11129
• 代理人: 謝殿武

技術領域

本實用新型涉及光學技術領域，尤其涉及光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)。

背景技術

現有的光干涉氣體檢測設備都是采用50年代日本理研設計的光路和機械結構，其原理為雅敏干涉。這種結構測量范圍寬、有一定測量精度、維護工作量小，但因光學系統(tǒng)的成像光程較長和光學機械組合結構件較多，產品體積較大，而且由于光源沒有準直，有雜光，從而容易產生零點漂移和測量誤差。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型目的在提供一種光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)，結構更為簡單，可減小產品體積。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)，包括氣室，還包括設置于氣室一端外，用于將光源發(fā)出的光束分為兩路平行光束射入氣室的分光模塊。

進一步，所述氣室包括采樣氣室和參考氣室，所述采樣氣室和參考氣室分別與分光模塊射出的兩路平行光束中的一路相對設置。

進一步，所述分光模塊為一塊分光棱鏡。

進一步，所述分光棱鏡相對于氣室傾斜放置，以使所述兩路平行光束沿氣室的長度方向射入氣室。

進一步，所述光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)還包括一反射模塊，所述反射模塊設置于氣室與分光模塊相對的另一端外，用于將分光模塊反射經過氣室的兩路平行光束反射回氣室。

進一步，所述光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)還包括一合光模塊，所述合光模塊設置于氣室與反射模塊相對的另一端外，用于將反射模塊反射經過氣室的兩路平行光合為一束光。

進一步，所述合光模塊與分光模塊為一體設置的膠合棱鏡。

進一步，所述合光模塊與分光模塊為分光平面鏡。

進一步，所述光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)還包括成像系統(tǒng)，所述成像系統(tǒng)包括感光模塊，所述感光模塊設置于聚光模塊的光線射出方向上。

進一步，所述光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)還包括光源模塊，所述光源模塊包括光源和準直光路，所述準直光路設置于光源的發(fā)射方向上，所述準直光路沿光線發(fā)射方向，依次包括聚光鏡、光欄和準直鏡，所述光欄設置于聚光鏡的焦點內，所述準直鏡設置于聚光鏡的焦點外。

本實用新型的光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)結構簡單，可減小整機產品的體積，特別是在進一步技術方案中，合光模塊與分光模塊為膠合棱鏡，結構更為緊湊，使儀器便攜成為可能。可降低產品的裝配要求，提高精度；光源設置兩級透鏡組成的準直系統(tǒng)，準直效果好，提高檢測精度。

本實用新型的其他優(yōu)點、目標和特征在某種程度上將在隨后的說明書中進行闡述，并且在某種程度上，基于對下文的考察研究對本領域技術人員而言將是顯而易見的，或者可以從本實用新型的實踐中得到教導。本實用新型的目標和其他優(yōu)點可以通過下面的說明書和權利要求書來實現和獲得。

附圖說明

圖1示出了實施例1的光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)的示意圖；

圖2示出了實施例2的光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)另一種實施方式的示意圖；

圖3示出了實施例3的光干涉氣體檢測裝置光路系統(tǒng)中光源模塊的示意圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型的優(yōu)選實施例進行詳細的描述。應當理解，優(yōu)選實施例僅為了說明本實用新型，而不是為了限制本實用新型的保護范圍。