[實用新型]一種使用雙激光光束的太陽能晶圓精密加工裝置

有效

• 申請號: 201220283074.7
• 申請日: 2012-06-15
• 公開（公告）號: CN202667917U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 陳堅;吳周令
• 申請（專利權）人: 合肥知常光電科技有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/06;B23K26/42
• 代理公司: 合肥天明專利事務所 34115
• 代理人: 金凱

1.一種使用雙激光光束的太陽能晶圓精密加工裝置，其特征在于：它包括有照射激光器、加工激光器、相對于加工激光器輸出端后的光束擴散裝置、相對光束擴散裝置輸出端后和照射激光器輸出端后的光學合束鏡、設置于光學合束鏡后的激光掃描器和相對激光掃描器照射端的載物臺。

2.根據權利1所述的一種使用雙激光光束的太陽能晶圓精密加工裝置，其特征在于：所述的照射激光器、加工激光器選用同一激光器，相對同一激光器輸出端后設置有可調分光裝置，可調分光裝置的一輸出端后設置有光學延遲裝置，所述的光束擴散裝置相對設置于光學延遲裝置的一輸出端后，所述的光學合束鏡相對設置于光束擴散裝置輸出端和可調分光裝置的另一輸出端后。

3.根據權利1所述的一種使用雙激光光束的太陽能晶圓精密加工裝置，其特征在于：所述的光束擴散裝置和光學合束鏡之間、光學合束鏡和激光掃描器之間均設置有激光反射鏡。

4.根據權利1所述的一種使用雙激光光束的太陽能晶圓精密加工裝置，其特征在于：所述的激光掃描器和載物臺之間設置有透鏡；所述的載物臺上設置有真空吸附裝置。

5.根據權利2所述的一種使用雙激光光束的太陽能晶圓精密加工裝置，其特征在于：所述的可調分光裝置是由順次設置的光學偏振旋轉器件和光學分束器組成。

6.根據權利2所述的一種使用雙激光光束的太陽能晶圓精密加工裝置，其特征在于：所述的分光裝置透射輸出端和光學合束鏡之間、光學合束鏡和激光掃描器之間均設置有激光反射鏡。

7.根據權利4所述的一種使用雙激光光束的太陽能晶圓精密加工裝置，其特征在于：所述的真空吸附裝置選用真空管，所述的載物臺的上端面上設置有與真空管連通的定位孔。