[實用新型]一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220282936.4 | 申請日: | 2012-06-15 |
| 公開(公告)號: | CN202766652U | 公開(公告)日: | 2013-03-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 甘大源;陳文杰;劉坤 | 申請(專利權(quán))人: | 甘大源 |
| 主分類號: | C30B11/00 | 分類號: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
| 地址: | 215422 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 適用于 通過 鑄錠 方法 生產(chǎn) 單晶硅 | ||
1.一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,包括爐體(1)、所述爐體(1)內(nèi)的硅熔融鍋(2),其特征在于:所述爐體(1)上方設(shè)置旋轉(zhuǎn)絲桿(3)伸入所述硅熔融鍋(2)內(nèi),所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)底部安裝仔晶,所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)上設(shè)置距離傳感裝置(4),傳感所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)底部到所述硅熔融鍋(2)內(nèi)熔融硅液面的距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)底端為伸縮結(jié)構(gòu)(5)。
3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)上端安裝氬氣引流罩(6)與所述爐體(1)相連。
4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,其特征在于:所述爐體(1)內(nèi)在所述硅熔融鍋(2)上方設(shè)置有可調(diào)溫加熱器(7)。
5.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,其特征在于:所述爐體(1)壁面上設(shè)置有觀察窗(8)。
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