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[實用新型]一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201220282936.4 申請日: 2012-06-15
公開(公告)號: CN202766652U 公開(公告)日: 2013-03-06
發(fā)明(設(shè)計)人: 甘大源;陳文杰;劉坤 申請(專利權(quán))人: 甘大源
主分類號: C30B11/00 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 215422 江蘇省蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 適用于 通過 鑄錠 方法 生產(chǎn) 單晶硅
【權(quán)利要求書】:

1.一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,包括爐體(1)、所述爐體(1)內(nèi)的硅熔融鍋(2),其特征在于:所述爐體(1)上方設(shè)置旋轉(zhuǎn)絲桿(3)伸入所述硅熔融鍋(2)內(nèi),所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)底部安裝仔晶,所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)上設(shè)置距離傳感裝置(4),傳感所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)底部到所述硅熔融鍋(2)內(nèi)熔融硅液面的距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)底端為伸縮結(jié)構(gòu)(5)。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)絲桿(3)上端安裝氬氣引流罩(6)與所述爐體(1)相連。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,其特征在于:所述爐體(1)內(nèi)在所述硅熔融鍋(2)上方設(shè)置有可調(diào)溫加熱器(7)。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于通過鑄錠方法生產(chǎn)單晶硅錠的鑄錠爐,其特征在于:所述爐體(1)壁面上設(shè)置有觀察窗(8)。

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