[實(shí)用新型]一種用于ETP PECVD生產(chǎn)線(xiàn)的鏤空石墨載板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220280617.X
• 申請(qǐng)日: 2012-06-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202766616U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 芶富均
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 芶富均
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/458
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/458
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種用于ETP?PECVD生產(chǎn)線(xiàn)的鏤空石墨載板，其特征在于：在一矩形石墨板（1）的中心區(qū)域加工有鏤空方格（106），方格四周加工有凹槽（105），凹槽的角上加工有半圓臺(tái)階（103）和矩形臺(tái)階（104），與安放硅片的支撐面齊平。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于ETP?PECVD生產(chǎn)線(xiàn)的鏤空石墨載板，其特征在于：所述鏤空方格（106）的個(gè)數(shù)為12個(gè)。

?3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于ETP?PECVD生產(chǎn)線(xiàn)的鏤空石墨載板，其特征在于：鏤空方格（106）外側(cè)設(shè)置有硅片定位框（109）和硅片支撐平臺(tái)（110）。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于ETP?PECVD生產(chǎn)線(xiàn)的鏤空石墨載板，其特征在于：石墨板（1）的上側(cè)加工有傳輸磁鐵固定孔（102）和磁鐵安裝板定位孔（101），下側(cè)加工有滑輪固定孔（107）和定位孔（108）。