[實用新型]太陽能硅片自動上料裝置有效
| 申請號: | 201220278409.6 | 申請日: | 2012-06-04 |
| 公開(公告)號: | CN202601597U | 公開(公告)日: | 2012-12-12 |
| 發明(設計)人: | 王偉兵;陳敏智;趙東 | 申請(專利權)人: | 浙江寶利特新能源股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 317521 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能 硅片 自動 裝置 | ||
1.太陽能硅片自動上料裝置,包括機架(1)、固定在機架(1)上的送料裝置、用于疊裝太陽能硅片(4)且能在送料裝置上來回移動的工裝(3)、位于送料裝置內端處一側邊的上料臺(5)和位于送料裝置內端部的正上方的用于將太陽能硅片(4)從工裝(3)上搬運到上料臺(5)上的移料裝置(6),所述的送料裝置的后端處安裝有接近開關,該自動上料裝置還包括安裝在機架(1)內的基于PLC的控制柜,其特征在于:所述的機架(1)靠近送料裝置后端處還安裝有支架(7),支架(7)兩側分別設有安裝柱(8),兩安裝柱(8)位于工裝(3)的正上方兩側,安裝柱(8)上設有紅外感應裝置(9)和與外界氣源連接的吹氣嘴(10),紅外感應裝置(9)、接近開關和移料裝置(6)均與上述的控制柜連接。
2.根據權利要求1所述的太陽能硅片自動上料裝置,其特征在于,所述的紅外感應裝置(9)包括紅外線發射裝置和紅外線接收裝置,且分別安裝在兩安裝柱(8)上。
3.根據權利要求2所述的太陽能硅片自動上料裝置,其特征在于,所述的送料裝置為兩側部分別具有導向槽(21)的導向軌道(2),上述的工裝(3)能沿著兩導向槽(21)在導向軌道(2)上來回移動。
4.根據權利要求1所述的太陽能硅片自動上料裝置,其特征在于,所述的移料裝置(6)包括橫向氣缸、垂直氣缸、支座(61)和若干個安裝在支座(61)上且與外界氣泵站連接的吸氣嘴(62),所述的垂直氣缸與支座(61)連接且能驅動支座(61)上下移動,所述的橫向氣缸與垂直氣缸連接且能驅動垂直氣缸和支座(61)在上料臺(5)和工裝(3)之間來回移動。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





