[實用新型]基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統有效
| 申請號： | 201220278277.7 | 申請日： | 2012-06-13 |
| 公開（公告）號： | CN202710599U | 公開（公告）日： | 2013-01-30 |
| 發明（設計）人： | 楊要恩;王慶敏;李振濤 | 申請（專利權）人： | 石家莊鐵路職業技術學院;楊要恩 |
| 主分類號： | G01P15/097 | 分類號： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 石家莊科誠專利事務所 13113 | 代理人： | 張紅衛;左燕生 |
| 地址： | 050041 河北*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 mems 技術 低頻 振動 加速度 傳感器 系統 | ||
1.一種基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統，其特征在于：包括基于MEMS技術的傳感器敏感元件、信號傳輸線、低通濾波電路和模數轉換電路；?
所述基于MEMS技術的傳感器敏感元件的信號輸入端用于感應外部結構振動信號，信號輸出端通過信號傳輸線連接低通濾波電路的信號輸入端；?
低通濾波電路的信號輸出端通過模數轉換電路用于連接數據采集裝置的微處理器電路。?
2.如權利要求1所述的基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統，其特征在于：所述基于MEMS技術的傳感器敏感元件采用傳感器芯片SCA61T，所述傳感器芯片SCA61T的第一管腳、第二管腳、第三管腳均懸空，第七管腳通過RC濾波電路連接信號傳輸線的信號輸入端，第八管腳連接外部電源。?
3.如權利要求2所述的基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統，其特征在于：所述低通濾波電路包括ISA板卡形式的八階貝塞爾低通抗混疊濾波器，所述八階貝塞爾低通抗混疊濾波器的第二管腳作為輸入端連接連接信號傳輸線的信號輸出端，第五管腳作為輸出端。?
4.如權利要求3所述的基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統，其特征在于：所述模數轉換電路包括逐次逼近式的高速模數轉換芯片，所述高速模數轉換芯片的輸入端連接八階貝塞爾低通抗混疊濾波器的第五管腳，輸出端用于連接采集裝置的微處理器電路的信號輸入端。?
5.如權利要求1至4中任意一項所述的基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統，其特征在于：所述信號傳輸線包括用于傳輸基于MEMS技術的傳感器敏感元件感知的模擬信號的屏蔽電纜和用于防止外力或電磁輻射干擾的、對屏蔽電纜所傳輸的模擬信號進行保護的鋼管，所述鋼管套裝在屏蔽電纜外。?
6.如權利要求5所述的基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統，其特征在于：所述屏蔽電纜包括3根直徑為0.5mm的電纜線，所述套裝在屏蔽電纜外鋼管的外徑為4mm、壁厚為1.5mm。?
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