[實用新型]一種用于ETP PECVD的擴展熱等離子體發生裝置有效
| 申請號： | 201220277958.1 | 申請日： | 2012-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN202738246U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 芶富均 | 申請（專利權）人： | 芶富均 |
| 主分類號： | H05H1/28 | 分類號： | H05H1/28;H05H1/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 550000 貴州省貴*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 etp pecvd 擴展 等離子體 發生 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于ETP?PECVD的擴展熱等離子體發生裝置，包括放電腔室、陽極底座、鈰鎢陰極、絕緣墊、水冷銅板，其特征在于：????
放電腔室由耐高溫絕緣材料制作而成，在放電腔室的外部設有水冷不銹鋼固定套，在放電腔室的底部設有一個絕緣墊；
絕緣墊下設有一個中心貫穿的水冷銅板，絕緣墊-水冷銅板交錯結構重復3-7次不等，在最下面一層絕緣墊的下方為安裝有拉瓦爾噴嘴的陽極底座；
不銹鋼固定套內部設有冷卻水槽，外部設有和其相連的冷卻水進口和冷卻水出口；
在水冷不銹鋼固定套上設有與直流電源連接的電極接頭、鈰鎢陰極安裝孔和氬氣入口；
陽極底座內部設有冷卻水通道和工作氣源通道；
水冷不銹鋼固定套的上端面設有密封管。
2.根據權利要求1所述的一種用于ETP?PECVD的擴展熱等離子體發生裝置，其特征在于：在所述陽極底座上設有與工作氣源連接的氣源接口。
3.根據權利要求1所述的一種用于ETP?PECVD的擴展熱等離子體發生裝置，其特征在于：所述的水冷銅板由外側環形銅管焊接在銅板的圓弧槽之中，銅管的兩端分別與冷卻水的進水端和出水端相連。
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