[實用新型]藍寶石晶圓棒滾圓用中心定位裝置有效
| 申請號: | 201220277715.8 | 申請日: | 2012-06-13 |
| 公開(公告)號: | CN202640580U | 公開(公告)日: | 2013-01-02 |
| 發明(設計)人: | 肖兵;胡海平;張會選;程興發;林維;葉洪君 | 申請(專利權)人: | 四川欣藍光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/00 | 分類號: | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司: | 成都頂峰專利事務所(普通合伙) 51224 | 代理人: | 成實 |
| 地址: | 620000 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 藍寶石 晶圓棒 滾圓 中心 定位 裝置 | ||
【權利要求書】:
1.藍寶石晶圓棒滾圓用中心定位裝置,其特征在于,包括晶圓棒毛坯套筒(1),與晶圓棒毛坯套筒(1)中心同軸且上下相連的夾持裝置套筒(2),設置于夾持裝置套筒(2)上的緊固螺栓(3)。
2.根據權利要求1所述的藍寶石晶圓棒滾圓用中心定位裝置,其特征在于,所述晶圓棒毛坯套筒(1)與夾持裝置套筒(2)固為一體結構。
3.根據權利要求2所述的藍寶石晶圓棒滾圓用中心定位裝置,其特征在于,所述晶圓棒毛坯套筒(1)的內壁直徑為2~6英寸。
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