[實用新型]一種微生物去除裝置和基板清洗設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220276843.0 | 申請日： | 2012-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN202729846U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發(fā)明（設計）人： | 高安安 | 申請（專利權）人： | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C02F1/32 | 分類號： | C02F1/32;B08B11/00;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 程立民;蔣雅潔 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微生物 去除 裝置 清洗 設備 | ||
1.一種微生物去除裝置，其特征在于，該裝置包括進水口和出水口，并且進水口和出水口之間由水管相連；所述裝置還包括發(fā)出的光線能夠照射到水管的滅菌燈管。
2.根據(jù)權利要求1所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述水管的材質(zhì)為石英，水管的數(shù)量為一個或多個。
3.根據(jù)權利要求2所述的微生物去除裝置，其特征在于，當水管的數(shù)量為一個時，水管的形狀為包括S或U形在內(nèi)的迂回形狀。
4.根據(jù)權利要求1所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述滅菌燈管是紫外線燈管，所述滅菌燈管的數(shù)量為一個或多個。
5.根據(jù)權利要求1所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述滅菌燈管的安裝位置為：緊貼或靠近水管的位置。
6.根據(jù)權利要求5所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述滅菌燈管的安裝方式為：一個滅菌燈管設置在多個水管中間，或多個滅菌燈管環(huán)繞在一個水管周圍。
7.根據(jù)權利要求1所述的微生物去除裝置，其特征在于，該裝置還設置有外殼，材質(zhì)是金屬。
8.根據(jù)權利要求7所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述外殼的內(nèi)壁為反光的光滑面。
9.根據(jù)權利要求7所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述外殼包含多個分體結構，各分體結構依靠連接件組合為整體。
10.根據(jù)權利要求1至9任一項所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述裝置還包括控制器，用于對滅菌燈管的功率大小和開關的時間進行控制。
11.一種基板清洗設備，其特征在于，包括權利要求1至10任一項所述的微生物去除裝置。
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