[實用新型]一種擴散爐用隔熱門

有效

• 申請號: 201220272944.0
• 申請日: 2012-06-11
• 公開（公告）號: CN202734549U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 霍得生;張磊;孔金泉
• 申請（專利權）人: 上海超日（洛陽）太陽能有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;C30B31/00
• 代理公司: 洛陽市凱旋專利事務所 41112
• 代理人: 陸君

【技術領域】

本實用新型涉及高溫擴散爐領域，尤其是涉及一種應用在半導體器件及太陽能電池片生產中使用的高溫擴散爐的隔熱門。

【背景技術】

公知的，在半導體器件及太陽能電池片生產過程中，做為關鍵設備之一的高溫擴散爐是用來對P型或N型襯底進行摻雜以在硅片表面形成PN結，從而達到改變和控制雜質的類型、濃度和分布，以便在硅片上建立不同電特性區域的目的；目前，最主要的也是最普遍的就是在700～1000℃的高溫下通過擴散爐來實施摻雜工藝，這其中，由于溫度是摻雜工藝中關鍵的參數之一，其會直接影響到PN結的深度，從而影響電阻，并最終影響到相關器件的性能，因此，在摻雜工藝流程中對擴散爐內的溫度有著嚴格的要求；傳統高溫擴散爐的口部是依靠一塊石英平板來進行簡單的封蓋，但由于石英平板不能起到高效隔熱的作用，所以極易造成爐內的熱量由爐口處快速流失，而此時的高溫擴散爐只能通過提高加熱功率來補償流失的熱量，這不但導致熱利用率較低，而且還極大的浪費了能源。

【發明內容】

為了克服背景技術中的不足，本實用新型提供了一種擴散爐用隔熱門，所述的隔熱門不但能夠簡單有效的封蓋住高溫擴散爐的爐口，而且還能夠有效的隔離爐內的熱輻射，減少熱量的流失。

為實現上述發明目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種擴散爐用隔熱門，所述的隔熱門包含內門板、外門板、邊框和填充物；所述內門板與外門板的大小吻合對應，內門板與外門板通過位于各自相對一端端面外緣位置的邊框連接為一中空的整體結構，該結構的中空部位填充有隔熱保溫的填充物。

所述的擴散爐用隔熱門，所述的內門板和外門板均為圓形結構。

所述的擴散爐用隔熱門，所述的邊框和內門板及外門板通過焊接或螺栓連接固定。

所述的擴散爐用隔熱門，所述的邊框框身設有至少一個通氣孔。

所述的擴散爐用隔熱門，所述的邊框對應上方的框身間隔均勻的設有1～6個通氣孔。

所述的擴散爐用隔熱門，所述的通氣孔孔徑為2～8mm。

所述的擴散爐用隔熱門，所述的內門板、外門板和邊框均由不透明石英玻璃材質制成。

所述的擴散爐用隔熱門，所述的填充物主要成份為陶瓷纖維或石英纖維。

由于采用如上所述的技術方案，本實用新型具有如下有益效果：

本實用新型所述的擴散爐用隔熱門采用了雙層門結構，從而在簡單有效的封蓋住高溫擴散爐的爐口同時，還通過在夾層內填充的保溫隔熱材料有效的隔離了爐內的高溫，使爐內的熱量難以傳導至外部，即達到了隔離爐內的熱輻射，減少熱量流失的目的。

【附圖說明】

圖1是本實用新型的示意圖。

圖中：1、內門板；2、外門板；3、邊框；4、填充物；5、通氣孔。

【具體實施方式】

通過下面的實施例可以更詳細的解釋本發明，公開本實用新型的目的旨在保護本實用新型范圍內的一切變化和改進，本實用新型并不局限于下面的實施例；

結合附圖1所述的擴散爐用隔熱門，所述的隔熱門包含有由不透明石英玻璃材質制成的內門板1、外門板2和邊框3，以及用于隔熱保溫的主要成份為陶瓷纖維或石英纖維的填充物4；所述內門板1與外門板2的大小吻合對應，且采用了對應高溫擴散爐爐口形狀的圓形結構；內門板1與外門板2通過位于各自相對一端端面外緣位置的邊框3連接為一中空的整體結構，該結構的中空部位填充有隔熱保溫的填充物4，即在利用邊框3將內門板1與外門板2連接固定為一體的同時，還通過邊框3將內門板1與外門板2之間夾持的填充物4緊密的包裹固定；為便于組裝，能夠通過焊接或螺栓將邊框3和內門板1及外門板2連接固定為一個整體結構；此外，在實際應用中，為使填充物4在受到過大的熱量影響時能夠與外界進行氣流交換，以避免填充物4自身因過熱而可能引發的相關危險，能夠在邊框3對應上方的框身上間隔均勻的設有至少1～6個孔徑為2～8mm的通氣孔5。

實施本實用新型所述的擴散爐用隔熱門時，只需通過相應的工具將所述的隔熱門對應封蓋在高溫擴散爐的爐口上，就是將所述隔熱門的內門板緊密抵觸在高溫擴散爐的爐口處，使所述的隔熱門完全將擴散爐的爐口密閉起來，此時，將所述的隔熱門固定后就能夠達到隔離擴散爐爐內的熱輻射，減少爐內熱量流失的目的了。

本實用新型未詳述部分為現有技術，故本實用新型未對其進行詳述。