[實用新型]還原爐底盤的雙層冷卻結構

有效

• 申請號: 201220272403.8
• 申請日: 2012-06-11
• 公開（公告）號: CN202625864U
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 趙建;盛斌;董黎明;王中華;徐辰盛
• 申請（專利權）人: 江蘇雙良新能源裝備有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210
• 代理人: 唐紉蘭

技術領域

本實用新型涉及多晶硅還原爐，具體涉及一種多晶硅行業大型還原爐底盤的冷卻及其加強結構。

背景技術

改良西門子法生產多晶硅，其方法主要是利用氫氣還原三氯氫硅，從而生成多晶硅，這個氫還原設備就是我們所說的還原爐。

目前國際多晶硅價格已滑落至20$/kg，各生產企業的成本壓力越來越大，為了降低還原電耗，所以目前還原爐也越來越大型化，36對棒還原爐已成為目前國內市場的主流。

目前多晶硅行業大型還原爐大多采用上下兩塊面板（如圖4），由于底盤直徑較大，且冷卻腔深度較深，冷卻水經過底盤冷卻腔時，往往上層的冷卻水與下層的冷卻水有較大溫差，而且現有結構只有一個冷卻腔，其腔內的導流板無法兼顧加強作用，所以運行過程中往往由于上下面板的溫差，造成底盤發生溫差變形。

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種既能有效冷卻底盤且能加固底盤的新型冷卻結構，保證設備的安全運行的還原爐底盤雙層冷卻結構。

本實用新型的目的是這樣實現的：一種還原爐底盤的雙層冷卻結構，所述結構包括底盤上面板、底盤中面板、底盤下面板、導流板、加強板、冷卻水進水管、冷卻水出水管、假管和電極座，底盤中面板介于底盤上面板與底盤下面板之間，底盤中面板將底盤冷卻腔分為上、下兩個腔體，這樣能避免冷卻水溫度分層；假管將上、下兩個腔體和相連通，導流板呈螺旋狀設置于上腔體內，螺旋導流保證底盤上面板的冷卻無死區；冷卻水進水管接入上腔體，加強板設置于下腔體內，加強板將所有的電極座拉撐在一起，增加底盤整體強度、剛度；冷卻水出水管由下腔體接出。另外底盤冷卻水先通過上腔體，升溫后的冷卻水再通入下腔體，此時升溫后的冷卻水將對底盤下面板加熱，這樣就能有效降低底盤上、下面板的溫差，改善溫差變形。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型采用了雙層冷卻腔，在結構上將導流與加強分開，減小了還原爐底盤上下面板的溫差，改善了其由溫差引起的變形。

附圖說明

圖1為本實用新型還原爐底盤的雙層冷卻結構示意圖。

圖2為本實用新型的上腔室俯視圖。

圖3為本實用新型的下腔室俯視圖。

圖4為以往還原爐底盤的冷卻結構示意圖。

圖中附圖標記：

底盤上面板1、底盤中面板2、底盤下面板3、導流板4、加強板5、冷卻水進水管6、冷卻水出水管7、假管8、電極座9、上腔體10、下腔體11。

具體實施方式

參見圖1，圖1為本實用新型還原爐底盤的雙層冷卻結構示意圖。從圖1可以看出，本實用新型還原爐底盤的雙層冷卻結構，包括底盤上面板1、底盤中面板2、底盤下面板3、導流板4、加強板5、冷卻水進水管6、冷卻水出水管7、假管8和電極座9，底盤中面板2介于底盤上面板1與底盤下面板3之間，底盤中面板2將底盤冷卻腔分為上、下兩個腔體10和11，假管8將上、下兩個腔體10和11相連通，導流板4呈螺旋狀設置于上腔體10內，如圖2，冷卻水進水管6接入上腔體10，加強板5設置于下腔體11內，加強板5將所有的電極座9拉撐在一起，呈井字形布置，如圖3，提高底盤的強度、剛度，冷卻水出水管7由下腔體11接出。底盤冷卻水通過冷卻水進水管6進入上腔體，然后順著導流板4螺旋導流，有效冷卻底盤上面板1，然后順著假管8進入底盤冷卻腔的下腔體，下腔體的冷卻水對底盤下面板3加熱后就順著冷卻水出水管7流出了還原爐冷卻腔。