[實用新型]光刻機電子系統的整體布局的結構

有效

• 申請號: 201220271233.1
• 申請日: 2012-06-08
• 公開（公告）號: CN202735678U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 陳修濤;周玉;陳勇
• 申請（專利權）人: 合肥芯碩半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G06F13/38
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

技術領域

本實用新型屬于光刻技術領域，涉及一種光刻機電子系統的整體布局的結構。

背景技術

光刻技術是用于在襯底表面上印刷具有特征的構圖。這樣的襯底可包括用于制造半導體器件、多種集成電路、平面顯示器（例如液晶顯示器）、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等的基片。經常使用的基片為半導體晶圓或玻璃基片。

電子系統實現光刻機的自動控制，主要包括光學焦距的自動控制、激光機能量的穩定控制，氣動門的控制以及各種告警指示。其中每一個功能都需要一個電子子系統，每一個子系統都需要一個開關電源供電，并且與上位機通信。這樣，接線眾多，不但亂，而且檢修不方便。電子系統是光刻機中不可缺少的一個組成部分，其體積的大小，布線的復雜程度將影響光刻機的整體設計與布局，因此，應盡量的減少電子系統的布線與體積。

實用新型內容

本實用新型提供一種使用一個通信系統實現各個子系統與上位機的通信，使用連接板實現各個子系統與通信系統的連接與供電的光刻機電子系統的整體布局的結構。

本實用新型采用的技術方案如下：

光刻機電子系統的整體布局的結構，包括有上位機和多個子系統，其特征在于：還包括有電路板、連接板，所述的電路板上設有通信系統，通信系統還擴展設有8個SPI口、兩個串口和一個網口，上位機通過網口與通信系統進行通信連接，各個子系統通過SPI口和串口與通信系統連接，各個子系統均置于連接板上，所述的連接板上設有電源，連接板上的電源為各個子系統供電。

所述的各個子系統和連接板固定于一個4U機箱中。

本實用新型增加連接板，連接板負責將所有的子系統連接起來，并給子系統提供電源，將各個子系統插在連接板上，與通信系統連接起來，各個子系統與通信系統通過SPI口和串口與通信系統通信。將所有的子系統固定在4U機箱之中，減少外界的干擾。上位機通過網口將數據發送給通信系統，通信系統將數據通過SPI口和串口轉發給各個子系統，同時各個子系統也可以將數據轉發給通信系統，通信系統在將數據發送給上位機。

本實用新型的有益效果在于：

本實用新型在不影響電控整個性能的前提下，減小了電子系統的體積與布線數量，給光刻機的安裝和運輸帶來了極大的方便。

附圖說明

????圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，光刻機電子系統的整體布局的結構，包括有上位機1和多個子系統2，還包括有電路板5、連接板4，電路板5上設有通信系統3，通信系統3還擴展設有8個SPI口、兩個串口和一個網口，上位機1通過網口與通信系統3進行通信連接，各個子系統2通過SPI口和串口與通信系統3連接，各個子系統均置于連接板4上，連接板4上設有電源，連接板4上的電源為各個子系統2供電。

各個子系統2和連接板4固定于一個4U機箱中。