[實用新型]曝光機及其照度控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220271106.1
• 申請日: 2012-06-08
• 公開（公告）號: CN202600361U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張磊;張力舟;吳琪
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B26/02
• 代理公司: 北京中博世達專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及微電子領(lǐng)域，尤其涉及一種曝光機及其照度控制裝置。

背景技術(shù)

曝光機是微電子行業(yè)芯片制造流程中經(jīng)常用到的一種設(shè)備，使用時一般有恒定功率和恒定照度這兩種模式。恒定功率使用模式下，曝光燈功率恒定，負荷穩(wěn)定，使用壽命長，但因曝光燈一般是超高壓水銀燈，使用時間長了會變暗，照度也隨之下降，而實際使用曝光機進行光刻過程中一般期望獲得恒定的照度。恒定照度使用模式下，曝光燈照度穩(wěn)定，但現(xiàn)有技術(shù)是通過控制曝光機光源的電壓來實現(xiàn)照度控制的，所以曝光燈的電壓及使用功率會隨使用時間上升，光源功率不穩(wěn)定，負荷較大，影響曝光燈的使用壽命。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種曝光機及其照度控制裝置，既能使照度在一定范圍內(nèi)恒定，又可保證光源功率穩(wěn)定，提高曝光燈的使用壽命。

為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案：

一種曝光機的照度控制裝置，包括：

平行設(shè)置的第一偏振片、第二偏振片和通過機械傳動方式與所述第二偏振片連接的驅(qū)動部件；

所述第一偏振片的光軸和所述第二偏振片的光軸重合，所述第一偏振片固定設(shè)置，所述第二偏振片可在自身所在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，所述驅(qū)動部件驅(qū)動所述第二偏振片在自身所在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。

所述的照度控制裝置，還包括：

用于監(jiān)控偏振光的光照強度的第一照度計，設(shè)置在所述第一偏振片和所述第二偏振片之間。

所述第一照度計設(shè)置在所述第一偏振片和所述第二偏振片之間的中心軸線上。

可選地，所述驅(qū)動部件為線性馬達。

所述的照度控制裝置，還可包括：

控制器，分別與所述第一照度計和所述驅(qū)動部件相連接；

所述控制器接受設(shè)定的照度和所述第一照度計的測量結(jié)果并控制所述驅(qū)動部件。

進一步地，所述的照度控制裝置，還可包括：

第二照度計，用以監(jiān)控所述曝光機出射光的光照強度，與所述控制器相連；

所述控制器接受所述第二照度計的測量結(jié)果，并控制所述驅(qū)動部件進行照度校正。

可選地，所述第二偏振片的邊緣呈齒輪狀。

本實用新型實施例還提供一種曝光機，設(shè)置有上面所述的任一照度控制裝置。

本實施例所述曝光機及其照度控制裝置，照度控制裝置包括兩個偏振片，第一偏振片固定設(shè)置，偏振方向無法改變，第二偏振片可在自身所在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)以改變偏振方向，根據(jù)物理常識，透過兩個偏振片后光的強度，與第一偏振片偏振方向與第一偏振片偏振方向所成夾角(兩偏振片偏振方向的夾角θ)有關(guān)，通過旋轉(zhuǎn)第二偏振片改變兩偏振片偏振方向的夾角θ，即可改變光的強度，從而達到控制出射光照度的目的，因此本實用新型本實施例所述曝光機及其照度控制裝置，能通過旋轉(zhuǎn)第二偏振片使照度在一定范圍內(nèi)恒定，不需要調(diào)節(jié)光源電壓，可保證光源功率穩(wěn)定，提高曝光燈的使用壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中的照度控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為本實用新型實施例中的照度控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3為本實用新型實施例中的照度控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖三；

圖4為本實用新型實施例中的照度控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖四；

圖5為本實用新型實施例中的曝光機的光路示意圖。

附圖標(biāo)記說明

1-高壓水銀燈，2-集光鏡，3-第一平面鏡，4-快門，5-光學(xué)積分器，

6-準(zhǔn)直鏡，7-第二平面鏡，8-露光面，9-第二照度計，

10-照度控制裝置，11-第一偏振片，12-第二偏振片，

13-第一照度計，14-驅(qū)動部件，15-控制器，16-線性馬達。

具體實施方式

本實用新型實施例提供一種曝光機及其照度控制裝置，既能使照度在一定范圍內(nèi)恒定，又可保證光源功率穩(wěn)定，提高曝光燈的使用壽命。

下面結(jié)合附圖對本實用新型實施例進行詳細描述。此處所描述的具體實施方式僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

實施例一

本實用新型實施例提供一種曝光機的照度控制裝置，如圖1所示，該裝置包括：

平行設(shè)置的第一偏振片11、第二偏振片12和通過機械傳動方式與所述第二偏振片連接的驅(qū)動部件(在圖1或2中沒畫出)；

第一偏振片11的光軸和第二偏振片12的光軸重合，第一偏振片11固定，第二偏振片12可在自身所在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，所述驅(qū)動部件驅(qū)動所述第二偏振片在自身所在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。