[實用新型]一種防砂漿飛濺裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220269315.2
• 申請日: 2012-06-07
• 公開（公告）號: CN202607862U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設計）人: 劉愛軍;胥大鵬;陳新軍;何江濤;李曉建
• 申請（專利權）人: 無錫隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/00
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓高潮

技術領域

本實用新型涉及一種硅切割過程中，防止切割砂漿飛濺污染晶托的防砂漿飛濺裝置。

背景技術

????硅片切割時，需要將硅棒粘結在晶托上，利用砂漿進行切割。切割時砂漿飛濺對晶托造成污染，切割完成后需要對晶托進行清洗，費水和費時；工作區(qū)也會有大量砂漿殘留。

發(fā)明內容

本實用新型目的在于針對現(xiàn)有技術的缺陷提供一種防止切割時砂漿飛濺污染晶托的防砂漿飛濺裝置。

本實用新型為實現(xiàn)上述目的，采用如下技術方案：

一種防砂漿飛濺裝置，其特征在于：所述防砂漿飛濺裝置用于防止粘結有硅棒的晶托在切割時受到砂漿的污染，其包括折板和擋板，所述折板設置在所述晶托兩側，所述擋板傾斜設置在晶托上部兩側。

優(yōu)選的：所述折板靠近晶托端設置有橡膠板，所述橡膠板與晶托側邊相接。所述擋板通過其上部的定位螺栓固定，以便于快速拆卸。

本實用新型能夠使在硅切割過程中晶托工作區(qū)域無大量砂漿殘留，清掃方便省時，而且.減少了后續(xù)工序清洗晶托的用水量，清洗時間（每板料節(jié)省0.5噸水，省時6min）。

附圖說明

圖?1?為本實用新型示意圖；

圖中，1、晶托；2、折板；3、擋板；4、橡膠板。

具體實施方式

如圖1所示一種防砂漿飛濺裝置，所述防砂漿飛濺裝置用于防止粘結有硅棒的晶托1在切割時受到砂漿的污染，其包括折板2和擋板3，所述折板2設置在所述晶托1兩側，所述擋板3傾斜設置在晶托1上部兩側。所述折板2靠近晶托1端設置有橡膠板4，所述橡膠板4與晶托1側邊相接。所述擋板3通過其上部的定位螺栓固定，以便于快速拆卸。