[實用新型]一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面銅膜的裝置

有效

• 申請號: 201220266399.4
• 申請日: 2012-06-07
• 公開（公告）號: CN202667929U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華
• 申請（專利權）人: 江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/06;B23K26/14;B23K26/42
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;沈國安

1.一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面銅膜的裝置，其特征在于：所述裝置包含有激光刻蝕設備，所述激光刻蝕設備包含有激光器（1）、光閘（2）、1/2波片（3）、格蘭棱鏡（4）、擴束鏡（5）、全反鏡片（6）、振鏡系統（7）和遠心場鏡（8），所述激光器（1）發出的激光依次經光閘（2）、1/2波片（3）和格蘭棱鏡（4）后射入擴束鏡（5）對光束進行同軸擴束，經擴束鏡（5）擴束準直后的激光到達全反鏡片（6），經全反鏡片（6）反射后的激光射入振鏡系統（7），射出振鏡系統（7）的激光經遠心場鏡（8）后聚焦到作為待加工件（12）的有機玻璃上。

2.如權利要求1所述一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面銅膜的裝置，其特征在于：所述激光器（1）為高頻率短脈沖激光器。

3.如權利要求1所述一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面銅膜的裝置，其特征在于：所述裝置包含有高度測量儀（16），且高度測量儀（16）設置于振鏡系統（7）上。

4.如權利要求3所述一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面銅膜的裝置，其特征在于：所述高度測量儀（16）為非接觸式高度測量儀。

5.如權利要求1或2或3所述一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面銅膜的裝置，其特征在于：所述激光器（1）、振鏡系統（7）和高度測量儀（16）均通過通訊系統（15）與工控機（14）相連。

6.如權利要求5所述一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面銅膜的裝置，其特征在于：所述作為待加工件（12）的有機玻璃通過夾緊氣缸（13）進行固定，所述作為待加工件（12）的有機玻璃的銅膜層的上方設置有一CCD對位觀察系統（9）。

7.如權利要求6所述一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面銅膜的裝置，其特征在于：所述作為待加工件（12）的有機玻璃的銅膜層的上方兩側分別設置有集塵系統（10）和吹氣系統（11）。