[實用新型]一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置

有效

• 申請號: 201220266396.0
• 申請日: 2012-06-07
• 公開（公告）號: CN202667918U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華
• 申請（專利權）人: 江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/03
• 分類號: B23K26/03;B23K26/06;B23K26/14;B23K26/36;B23K26/42
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;沈國安

技術領域

本實用新型涉及一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，屬于近場光學、電子觸控設計技術和激光微加工技術領域。

背景技術

傳統的觸摸屏柔性導電膜的原材為卷狀，但市場上的激光蝕刻設備需要導電膜裁切成固定尺寸方可加工，此種方式對產線帶來設備成本的增加和生產步驟的增加，且生產效率較低。

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種適應生產需求、減少生產工序、增加生產效率、節約生產成本的脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置。

本實用新型的目的是這樣實現的：一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述裝置包含有激光器、光閘、1/2波片、格蘭棱鏡、擴束鏡、全反鏡片、振鏡系統和遠心場鏡，所述激光器發出的激光依次經光閘、1/2波片和格蘭棱鏡后射入擴束鏡對光束進行同軸擴束，經擴束鏡擴束準直后的激光到達全反鏡片，經全反鏡片反射后的激光射入振鏡系統，射出振鏡系統的激光經遠心場鏡后聚焦到被吸附于真空吸附平臺上作為待加工件的柔性導電膜上；所述柔性導電膜卷繞在卷膜傳輸系統上，所述卷膜傳輸系統包含有左右對稱設置的放卷輥和收卷輥，柔性導電膜一端卷繞在放卷輥上，另一端卷繞在收卷輥上，位于放卷輥和收卷輥的柔性導電膜展平吸附于真空吸附平臺上，且位于放卷輥和收卷輥的柔性導電膜上壓置有壓緊裝置，并且柔性導電膜的上方設置有一CCD對位觀察系統。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述柔性導電膜的上方兩側分別設置有集塵系統和吹氣系統。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述激光器為高頻率短脈沖激光器。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述激光器、振鏡系統和卷膜傳輸系統均通過通訊系統與工控機相連。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型通過運用高頻率的短脈沖激光器作為激光源，對不同觸摸屏產品中導電膜進行激光蝕刻，使有導電膜在高頻率的短脈沖固體激光器的作用下氣化而達到蝕除的目的，通過高精度CCD對位一次性完成這些導電薄膜材料的蝕刻，產生的粉塵在經過特制的吹氣系統和大流量積塵系統集塵，加工出無污染、線性穩定、功能完好的觸摸屏電子產品。配合著自動卷材系統，達到減少加工工序，快速加工的效果。

附圖說明

圖1為本實用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置的結構示意圖。

其中：

激光器1、光閘2、1/2波片3、格蘭棱鏡4、擴束鏡5、全反鏡片6、振鏡系統7、遠心場鏡8、CCD對位觀察系統9、集塵系統10、吹氣系統11、壓緊裝置12、待加工件13、工控機14、通訊系統15、卷膜傳輸系統16、真空吸附平臺17。

具體實施方式

參見圖1，本實用新型涉及一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置，所述裝置包含有激光器1、光閘2、1/2波片3、格蘭棱鏡4、擴束鏡5、全反鏡片6、振鏡系統7和遠心場鏡8，所述激光器1發出的激光經光閘2控制開關光，具體可以由軟件控制感應信號來控制光閘2的開啟和關閉，從而實現激光器1的外部控制激光開關，光閘2控制激光光束后經過1/2波片3，調節1/2波片配合格蘭棱鏡4可以實現一定范圍內功率可調，對激光器功率的選擇提供很大的便利；然后通過擴束鏡5對光束進行同軸擴束，一方面改善光束傳播的發散角，從而達到光路準直的目的；另外一方面，對激光光束同軸擴束，使得聚焦后光斑和焦深更小，從而實現激光穩定刻蝕的目的；經擴束鏡5擴束準直后光束到達全反鏡片6，使激光全部反射到振鏡系統7配合著遠心場鏡8可以準確的控制激光聚焦到作為待加工件13的柔性導電膜上，使其蝕刻效果更佳穩定；?

其中，柔性導電膜卷繞在卷膜傳輸系統16上，所述卷膜傳輸系統16包含有左右對稱設置的放卷輥和收卷輥，柔性導電膜一端卷繞在放卷輥上，另一端卷繞在收卷輥上，位于放卷輥和收卷輥的柔性導電膜展平吸附于真空吸附平臺17上，且位于放卷輥和收卷輥的柔性導電膜上壓置有壓緊裝置12，使得柔性導電膜展開時其平整度更好；所述激光器1、振鏡系統7和卷膜傳輸系統16均通過通訊系統15與工控機14相連；

同時，所述柔性導電膜的上方設置有一CCD對位觀察系統9，所述柔性導電膜的上方兩側分別設置有集塵系統10和吹氣系統11。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導電膜的裝置的刻蝕方法，該方法包含有以下步驟：

步驟一、激光器1發出的激光經1/2波片3和格蘭棱鏡4后，再經擴束鏡5準直擴束后，再通過振鏡系統7和具有較小焦距的遠心場鏡8聚焦，使聚焦光斑在5um～20um；?