[實(shí)用新型]一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220266387.1
• 申請(qǐng)日: 2012-06-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202671408U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙裕興;狄建科;張子國(guó);益凱劼;張偉;蔡仲云;閆華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰德力激光設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): C03B33/08
• 分類號(hào): C03B33/08
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;沈國(guó)安

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置，屬于蓋板玻璃、觸屏和玻璃激光微加工領(lǐng)域。?

背景技術(shù)

由于手機(jī)觸摸屏、晶圓玻璃產(chǎn)品持續(xù)增長(zhǎng)需求，對(duì)于玻璃強(qiáng)化程度要求不斷增加，玻璃強(qiáng)度主要以鋼化深度來(lái)衡量，鋼化層深度主要在0um~40um變化。

鋼化玻璃是一種預(yù)應(yīng)力玻璃，為提高玻璃的強(qiáng)度,通常使用化學(xué)或物理的方法，從而提高了承載能力，增強(qiáng)玻璃自身抗風(fēng)壓性，寒暑性，沖擊性等。?一般的鋼化玻璃存在難切割和切割效果較差問(wèn)題，無(wú)法滿足觸摸屏和晶圓半導(dǎo)體行業(yè)的要求。

傳統(tǒng)的鋼化玻璃切割方式以刀輪切割為主，通過(guò)數(shù)控機(jī)床控制刀輪切割位置，利用CCD對(duì)位，完成鋼化玻璃切割。切割中刀輪與玻璃接觸，由于存在壓應(yīng)力，使鋼化玻璃易碎裂，切割良品率較低，且刀輪在長(zhǎng)時(shí)間的磨損中，也易損壞，需要經(jīng)常更換。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種切割良品率高且切割效率高的雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置，所述裝置包含有一產(chǎn)生綠光激光和紫外激光的激光產(chǎn)生裝置，該激光產(chǎn)生裝置射出的綠光波長(zhǎng)的激光依次經(jīng)擴(kuò)束鏡二、半波片一、格蘭棱鏡一和激光經(jīng)聚焦鏡一后進(jìn)入掃描場(chǎng)鏡一，該激光產(chǎn)生裝置射出的紫外激光依次經(jīng)反射鏡一、擴(kuò)束鏡一、半波片二、格蘭棱鏡二、反射鏡二和聚焦鏡二后進(jìn)入掃描場(chǎng)鏡二，射出掃描場(chǎng)鏡一的綠光波長(zhǎng)的激光和射出掃描場(chǎng)鏡二的紫外波長(zhǎng)的激光分別均射向置于載物平臺(tái)上的加工物件。

本實(shí)用新型一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置，上述激光產(chǎn)生裝置為一同時(shí)發(fā)出綠光激光和紫外激光的雙波長(zhǎng)激光發(fā)生器，所述激光器發(fā)出的激光經(jīng)光閘后射向全反全透鏡，全反全透鏡將綠光激光全部反射，將紫外激光全部透射，反射后的綠光激光和透射后的紫外激光分別呈兩條光路射出激光產(chǎn)生裝置。

本實(shí)用新型一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置，上述激光產(chǎn)生裝置為包含有兩個(gè)激光器，一個(gè)為發(fā)生綠光激光的激光器，另一個(gè)為產(chǎn)生紫外激光的激光器。

本實(shí)用新型一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置，產(chǎn)生的綠光激光的波長(zhǎng)為515nm～532nm，產(chǎn)生的紫外激光的波長(zhǎng)為190nm～355nm。

本實(shí)用新型一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置，所述描場(chǎng)鏡一和掃描場(chǎng)鏡二上分別安裝有CCD系統(tǒng)一和CCD系統(tǒng)二，且CCD系統(tǒng)一和CCD系統(tǒng)二的鏡頭均朝向加工物件。

本實(shí)用新型一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置，所述載物平臺(tái)的兩側(cè)分別安裝有吹氣裝置和集塵裝置。

本實(shí)用新型一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置，所述反射鏡一、反射鏡二和反射鏡三均分別與入射到其表面的光路呈45°。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型的雙波長(zhǎng)激光切割可以改善傳統(tǒng)切割方式存在的問(wèn)題，而且激光具有非接觸、無(wú)污染環(huán)境、易控制等特性；經(jīng)過(guò)試驗(yàn)研究，先用綠光聚焦于玻璃下表面，從下至上切割玻璃，預(yù)留100um~300um厚度，然后換用紫外激光聚焦于玻璃上表面，從上往下切割，將綠光切割預(yù)留部分全部切除，這種切割方式可以克服傳統(tǒng)切割方式的難題，而且也避免了單一波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃時(shí)，玻璃邊緣崩邊大的問(wèn)題，為鋼化玻璃難加工、加工效果差給予了解決方案。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：

激光器1、光閘2、全反全透鏡3、反射鏡一4、擴(kuò)束鏡一5、擴(kuò)束鏡二6、半波片一7、格蘭棱鏡一8、反射鏡三9、聚焦鏡一10、掃描場(chǎng)鏡一11、CCD系統(tǒng)一12、半波片二13、格蘭棱鏡二14、反射鏡二15、聚焦鏡二16、掃描場(chǎng)鏡二17、CCD系統(tǒng)二18、吹氣裝置19、加工物件20、載物平臺(tái)21、集塵裝置22。

具體實(shí)施方式

參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型涉及的一種雙波長(zhǎng)激光切割鋼化玻璃的方法，所述方法包含有以下步驟：

步驟一、波長(zhǎng)為515nm～532nm、脈寬為100ps～100ns、頻率為1KHz～1000KHz的激光將焦點(diǎn)聚焦到鋼化玻璃的下表面上；

步驟二、激光的聚焦焦點(diǎn)按切割形狀在鋼化玻璃的下表面上移動(dòng)，在移動(dòng)過(guò)程中，在移動(dòng)軌跡內(nèi)的鋼化玻璃氣化，從而形成切割形狀所需的切割溝道；

步驟三、將激光聚焦焦點(diǎn)由下往上移動(dòng)，并重復(fù)步驟二，直至切割溝道距離上表面100um～300um；