[實(shí)用新型]一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220265087.1 | 申請(qǐng)日: | 2012-06-07 |
| 公開(公告)號(hào): | CN202601588U | 公開(公告)日: | 2012-12-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃躍龍;李克強(qiáng);孫曉東;李寶瑛;徐會(huì)杰;劉強(qiáng);張龍;郗文勇;平玉民 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 保定天威薄膜光伏有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 唐山順誠(chéng)專利事務(wù)所 13106 | 代理人: | 于文順 |
| 地址: | 071051 河北省保定市*** | 國(guó)省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 局部 隔離 傳送 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu),其特征在于包含傳送線(1)和隔離板(4),在傳送線周圍設(shè)置隔離板,隔離板在傳送線周圍構(gòu)成密閉的空間,將傳送線包圍在該空間內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu),其特征在于在隔離板上設(shè)置進(jìn)氣管道(2)和出氣管道(3),進(jìn)氣管道與廠務(wù)空調(diào)系統(tǒng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述之一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu),其特征在于在隔離板在傳送線周圍構(gòu)成密閉的空間內(nèi)設(shè)置環(huán)境調(diào)節(jié)裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述之一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu),其特征在于所述的隔離板為透明隔離板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述之一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu),其特征在于在隔離板在傳送線周圍構(gòu)成密閉的空間內(nèi),設(shè)置環(huán)境監(jiān)控裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述之一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu),其特征在于所述的環(huán)境調(diào)節(jié)裝置包括溫度調(diào)節(jié)單元、濕度調(diào)節(jié)單元和環(huán)境氣體成分調(diào)節(jié)單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述之一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu),其特征在于環(huán)境監(jiān)控裝置包括溫度傳感器、濕度傳感器、氣體檢測(cè)裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述之一種局部隔離傳送線結(jié)構(gòu),其特征在于所述的傳送線,包括硅片傳送線、晶體硅太陽(yáng)能電池及組件傳送線、薄膜太陽(yáng)能電池及組件傳送線,薄膜晶體管液晶顯示器傳送線。
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H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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