[實用新型]對位平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220263590.3
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN202702066U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 董文山
• 申請（專利權(quán)）人: 駿澤科技股份有限公司;惠祥貿(mào)易股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 王晶

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種對位平臺，特別涉及一種用于制程中對位的結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

高科技時代，進入奈米級的處理模式，對許多精密的產(chǎn)品于制程中有更高的要求，才能以最平穩(wěn)的方式得到最高的產(chǎn)出，特別是光電及晶圓產(chǎn)業(yè)，其產(chǎn)品于x、y、θ的二.五維度的精密定位成為必備組件；習知已有于x軸上設(shè)置一套橫向調(diào)整裝置，再在y軸上設(shè)置一套縱向調(diào)整裝置，最后于平面上設(shè)置一套旋轉(zhuǎn)角度調(diào)整裝置，層迭之下，便形成有相當高度的機構(gòu)，層層間有誤差，很難達到奈米級的要求。于是進一步提出種種改良結(jié)構(gòu)，從三層式簡化為單層式，一種并聯(lián)式多軸同動的機構(gòu)，被發(fā)展出來，最主要以導螺桿的方式帶動，但是層迭之下，傳動機構(gòu)是設(shè)于調(diào)整機構(gòu)的側(cè)面；此種結(jié)構(gòu)解決了高度上的問題，卻也有側(cè)面?zhèn)鲃樱a(chǎn)生影響到部份傳動的精密性，為了提供更符合實際需求的物品，創(chuàng)作人乃進行研發(fā)，以解決習知使用上易產(chǎn)生的問題。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷和不足，本實用新型的主要目的在于提供一種對位平臺。

為達成上述的目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種對位平臺包括：一基座，至少兩個對位組件，各對位組件固定于基座上，一載臺，載臺接于各對位組件之上；各對位組件具有一底框架，底框架一側(cè)外固定一驅(qū)動件，使驅(qū)動件連接一驅(qū)動軸，驅(qū)動軸穿入底框架且樞接于底框架的兩側(cè)，驅(qū)動軸上樞接一底滑塊，底滑塊設(shè)有兩翼，底滑塊的兩翼分別設(shè)置有一底導溝，讓各底導溝分別貼靠于底框架另兩側(cè)頂端所設(shè)的一底導槽，底滑塊頂面固定一頂導軌，頂導軌兩側(cè)分別設(shè)置一頂導槽，使于頂導軌上套接一頂滑塊，頂滑塊的兩側(cè)分別設(shè)置一頂導溝，讓各頂導溝分別貼靠于頂導軌的頂導槽，頂滑塊的頂面固接一固定環(huán)圈，固定環(huán)圈的外周側(cè)有一外環(huán)溝，外環(huán)溝定位有至少兩個滾珠，固定環(huán)圈外套有一活動環(huán)圈，活動環(huán)圈的內(nèi)周側(cè)有一內(nèi)環(huán)溝，內(nèi)環(huán)溝與各滾珠相接。

對位平臺發(fā)覺到間接傳動的影響與誤差，將驅(qū)動改設(shè)于直接傳動，如此一來，精度提高，承載力提高，傳動快，調(diào)整快，且整體的厚度也沒變，卻能達成更好的對準功用，可以大大提高產(chǎn)能與良率

為使貴審查委員能更進一步了解本實用新型為達成預(yù)定目的所采取的技術(shù)、手段及功效，茲舉一較佳可行的實施例，并配合圖式詳細說明如后，相信本實用新型的目的、特征與優(yōu)點，當可由此得一深入且具體的了解。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體圖。

圖2為本實用新型圖1的圈部的放大立體圖。

圖3為本實用新型對位組件的立體圖。

圖4為本實用新型對位組件的立體分解圖。

具體實施方式

如圖1至4所示，為本實用新型一種對位平臺，包括：一基座2，至少兩個對位組件1，各對位組件1固定于基座2上，一載臺4，載臺4接于各對位組件1之上；各對位組件1具有一底框架11，底框架11一側(cè)外固定一驅(qū)動件13，使驅(qū)動件13連接一驅(qū)動軸14，驅(qū)動軸14穿入底框架11，且驅(qū)動軸14樞接于底框架11的兩側(cè)，驅(qū)動軸14上樞接一底滑塊15，底滑塊15設(shè)有兩翼16，底滑塊15的兩翼16分別設(shè)置有一底導溝17，讓各底導溝17分別貼靠于底框架11另兩側(cè)頂端所設(shè)的一底導槽12，底滑塊15頂面固定一頂導軌20，頂導軌20兩側(cè)分別設(shè)置一頂導槽21，使于頂導軌20上套接一頂滑塊22，頂滑塊22的兩側(cè)分別設(shè)置一頂導溝23，讓各頂導溝23分別貼靠于頂導軌20的預(yù)導槽21，頂滑塊22的頂面固接一固定環(huán)圈24，固定環(huán)圈24的外周側(cè)有一外環(huán)溝25，外環(huán)溝25定位有至少兩個滾珠26，固定環(huán)圈24外套有一活動環(huán)圈27，活動環(huán)圈27的內(nèi)周側(cè)有一內(nèi)環(huán)溝28，內(nèi)環(huán)溝28與各滾珠26相接。驅(qū)動件13為一馬達，驅(qū)動軸14為一螺桿，底滑塊15為一中間有一螺紋溝18。底滑塊15與頂導軌20間為十字狀。其中對位組件1為四組，分別設(shè)于基座2的四角。其中相鄰的對位組件1的底框架10間為呈角狀，也就是說對角為X軸向設(shè)置，另一對角Y軸向設(shè)置。使各對位組件1的對位均由底框架11的驅(qū)動件13帶動驅(qū)動軸14，讓底滑塊15橫移或縱移，而頂滑塊22與活動環(huán)區(qū)27則自由移動與轉(zhuǎn)動，由各對位組件1彼此間調(diào)整達到對位的效用，當然對位組件1兩組亦能使用，五組也能使用。其中圖示固定環(huán)圈24是以至少兩個螺絲鎖接于頂滑塊22上，且頂導軌20也是以至少兩個螺絲鎖接于底滑塊15上，頂滑塊22是呈ㄇ狀，底滑塊15是呈T狀。