[實用新型]一種擴散用石英舟

有效

• 申請號: 201220261577.4
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN202712236U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 姜言森;任現坤;張黎明;王光利;張春艷;賈河順;程亮;徐振華;王兆光;杜敏;劉鵬;李玉花;張麗麗;李鋼;姚增輝;張同星;馬繼磊;孫繼峰
• 申請（專利權）人: 山東力諾太陽能電力股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673;C30B31/14
• 代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司 37205
• 代理人: 宋玉霞

技術領域

本實用新型涉及一種太陽能電池制作工段夾具技術領域，具體涉及一種擴散用石英舟。?

背景技術

晶體硅太陽能電池制作工藝包括制絨、擴散、刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極等步驟，擴散步驟一般采用石英舟作為承載工具，如專利：200920068241.4。

說明書附圖3，為現有技術中常見的石英舟的局部放大圖?？梢钥吹浆F有技術在太陽能電池制作PN結的過程中，一般采用凹槽以相同的間隔均勻分布于支架上的石英舟，在擴散插片時采用兩片硅片擴散面相背緊貼在一起插入凹槽進行單面擴散的方法。這樣，一方面由于非擴散面得不到足夠的磷源，從而減弱了磷擴散的高溫吸雜作用；另一方面電池的方塊電阻可控性、均勻性差，從而降低了太陽能電池的轉化效率。同時由于背靠背插片會在一定程度上增加了硅片的碎片幾率，降低了產品的合格率。

而使用現有技術的石英舟進行雙面擴散，將一片硅片單獨插入凹槽，這樣，不僅使電池產能降低到原有產能的1/2，同時還提高了生產成本，直接減少企業利益。?

發明內容

本發明的目的就是針對上述存在的缺陷而提供一種擴散用石英舟。該石英舟的凹槽按寬、窄間隔交替分布，這樣可以提高太陽能電池的轉化效率及合格率，并且可以有效的降低硅片在裝卸舟過程中出現的碎片率高、用時長、擴散面放反等問題，顯著提高工作效率。

本發明的一種擴散用石英舟技術方案為，包括側面連接件和支架；支架包括一對上支架和一對下支架；上支架對稱固定于側面連接件上端內側壁，下支架對稱固定于側面連接件底部內側壁，且上支架所在平面與下支架所在平面相互平行，上支架之間的距離比下支架之間的距離寬；所述的上支架內側表面、下支架上側表面設置有間隔大小不同的凹槽。所述側面連接件外側上部設有把手。

上支架和下支架的橫截面為矩形，其中兩個上支架相對的內側有凸起。

所述的上支架內側凸起的表面、下支架上側表面設置有按寬間隔、窄間隔交替分布的凹槽。

凹槽的寬度為0.5～2mm，凹槽的寬度優選為1.0±0.1mm。

寬間隔的寬度為0.5～5mm，寬間隔的寬度優選為2.2±0.1mm。

窄間隔的寬度為0.5～4mm，窄間隔的寬度優選為1±0.1mm。

本發明的有益效果為：本發明的一種擴散用石英舟，包括側面連接件和支架；其中，支架包括一對上支架和一對下支架；上支架對稱固定于側面連接件上端內側壁，下支架對稱固定于側面連接件底部內側壁，且上支架所在平面與下支架所在平面相互平行，上支架之間的距離比下支架之間的距離寬；所述的上支架內側表面、下支架上側表面設置有間隔大小不同的凹槽。

本發明的凹槽按寬、窄間隔交替分布，采用單片硅片插入凹槽進行雙面擴散的方法，可以提高磷擴散的高溫吸雜作用，提高太陽能電池的轉化效率，同時，徹底杜絕了由于擴散面放反導致的電性能不良等問題；另外，可以有效的降低硅片在裝、卸舟過程中出現的崩邊、掉角、隱裂等碎片問題，減少了裝卸舟時間，顯著提高工作效率；提高了產品質量及合格率。

附圖說明：

圖1所示為本發明正面剖視圖；

圖2所示為圖1中A部分的局部放大圖；

圖3所示為現有技術的凹槽放大圖；

圖4所示為本發明的左右視圖；

圖5所示為本發明的側面剖視圖；

圖6所示為本發明的上支架橫截面視圖；

圖7所示為本發明的下支架橫截面視圖；

圖中，?1.上支架，2.把手，3.?側面連接件，4.下支架，5.凹槽,6.凸起。

具體實施方式：

為了更好地理解本發明，下面結合具體實例來詳細說明本發明的技術方案，但是本發明并不局限于此。

本發明的一種擴散用石英舟技術方案為，包括側面連接件3和支架；支架包括一對上支架1和一對下支架4；上支架1對稱固定于側面連接件3上端內側壁，下支架4對稱固定于側面連接件3底部內側壁，且上支架1所在平面與下支架4所在平面相互平行，上支架1之間的距離比下支架4之間的距離寬；所述的上支架1內側表面、下支4架上側表面設置有間隔大小不同的凹槽5。所述側面連接件3外側上部設有把手2。

上支架1和下支架4的橫截面為矩形，其中兩個上支架1相對的內側有凸起6。

所述的上支架1內側凸起6的表面、下支架4上側表面設置有按寬間隔、窄間隔交替分布的凹槽5。

凹槽5的寬度為0.5～2mm，凹槽5的寬度優選為1.0±0.1mm。