[實用新型]一種用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構

有效

• 申請號: 201220261104.4
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN202651080U
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 佘鵬程;魏唯;王慧勇;萬喜新;呂文利;賈京英
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18;B23K26/36;B23K26/42
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，包括支座（3），裝在支座（3）上的橫梁（4），其特征是，所述橫梁（4）的兩側裝有側安裝板（5），該橫梁（4）的兩端裝有端安裝板（1）；所述側安裝板（5）裝有由電機（9）驅動的同步皮帶傳送機構，該同步皮帶傳送機構的皮帶輪安裝軸上裝有主動帶輪（13），該主動帶輪（13）通過皮帶與裝在端安裝板（1）上的從動帶輪（11）相連。

2.根據權利要求1所述的用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，其特征是，所述同步皮帶傳送機構的結構為，包括裝在側安裝板（5）上的從同步帶輪（10），該從同步帶輪（10）通過同步帶（8）與裝在電機（9）輸出軸上的主同步帶輪（7）相連。

3.根據權利要求1所述的用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，其特征是，所述主動帶輪（13）通過平皮帶（6）與從動帶輪（11）相連。

4.根據權利要求3所述的用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，其特征是，所述平皮帶（6）一側設有張緊輪（14）。

5.根據權利要求1所述的用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，其特征是，所述主動帶輪（13）與從動帶輪（11）的圓周上為圓弧輪面結構。

6.根據權利要求1或5所述的用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，其特征是，所述主動帶輪（13）與從動帶輪（11）的圓周上具有網紋（17）。

7.根據權利要求1所述的用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，其特征是，所述橫梁（4）側面具有安裝槽，該安裝槽內通過定位螺釘（15）安裝有定位塊（2）。

8.根據權利要求7所述的用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，其特征是，所述端安裝板（1）內側具有與安裝槽配合安裝的定位凸臺（16）。

9.根據權利要求1所述的用于太陽能電池激光邊緣刻蝕設備上的硅片傳送機構，其特征是，所述橫梁（4）為兩根，每根橫梁（4）上裝有一組主動帶輪（13）和從動帶輪（11）。