[實(shí)用新型]硅板舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220259604.4
• 申請(qǐng)日: 2012-06-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202585369U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪良恩;王毅;喻慧丹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及對(duì)硅板舟的改進(jìn)。

背景技術(shù)

在制造二極管的過(guò)程中，雜質(zhì)的擴(kuò)散需要在1200℃以上的高溫下進(jìn)行，對(duì)于承載硅片的治具要求相對(duì)較高，能夠耐高溫且不易變形；目前使用的疊擴(kuò)硅板舟能夠耐高溫，但板舟上的硅片擴(kuò)散不均勻且容易出現(xiàn)傾斜的情況，因此對(duì)于擴(kuò)散治具的改善，保證硅片擴(kuò)散質(zhì)量具有很重要的意義。現(xiàn)有技術(shù)中使用的硅板舟如圖3所示，相鄰硅片3共用一組共用插棒21，存在的問(wèn)題是，如果共用插棒21位置設(shè)置不準(zhǔn)確，會(huì)導(dǎo)致相鄰硅片3會(huì)相互交疊，影響加工質(zhì)量。并且共用插棒21在使用過(guò)程中由于兩邊均有偏載力，容易松動(dòng)導(dǎo)致?lián)p壞，使得硅片傾斜，達(dá)不到理想的加工效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型針對(duì)以上問(wèn)題，提供了一種能夠保證硅片在進(jìn)出爐時(shí)不歪斜、有效地固定硅片位置的硅板舟。

????本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：包括設(shè)有插孔的板狀舟體和用于固定硅片的插棒，所述插棒四只一組構(gòu)成限位單元，所述限位單元是：所述插棒按正方形四角位置固定連接在所述板狀舟體上，所述處于對(duì)角的兩插棒內(nèi)側(cè)之間的距離等于所述硅片的直徑。

所述插棒底部呈錐形頭；所述插棒的錐形頭與所述插孔連接。

在所述板狀舟體上設(shè)有至少兩個(gè)所述限位單元。

本實(shí)用新型在原來(lái)擴(kuò)散板舟的基礎(chǔ)上對(duì)插棒位置進(jìn)行調(diào)整，避免了之前采用共用插棒的硅板舟，每疊硅片均采用一個(gè)限位單元（即四根插棒）來(lái)固定，使得每疊硅片都能很好地固定，在擴(kuò)散過(guò)程中能夠均勻地受熱，使得雜質(zhì)能夠均勻擴(kuò)散，確保產(chǎn)品質(zhì)量的一致性；插孔和插棒采用錐形連接，保證了連接的可靠性。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于加工，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，

圖2是圖1的前視圖，

圖3是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中1是舟體，2是插棒，20是錐形頭，21是共用插棒，3是硅片。

具體實(shí)施方式

????本實(shí)用新型如圖1-2所示，包括設(shè)有插孔的板狀舟體1和用于固定硅片3的插棒2，所述插棒2四只一組構(gòu)成限位單元，所述限位單元是：所述插棒2按正方形四角位置固定連接在所述板狀舟體1上，所述處于對(duì)角的兩插棒2內(nèi)側(cè)之間的距離等于所述硅片3的直徑。

所述插棒2底部呈錐形頭20；所述插棒2的錐形頭20與所述插孔連接。

在所述板狀舟體1上設(shè)有至少兩個(gè)所述限位單元。