[實(shí)用新型]一種實(shí)現(xiàn)多晶硅鑄錠爐冷卻的冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220258484.6
• 申請(qǐng)日: 2012-06-01
• 公開（公告）號(hào): CN202766657U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊海艷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽森之洋自動(dòng)化科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B28/06
• 分類號(hào): C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

1.一種實(shí)現(xiàn)多晶硅鑄錠爐冷卻的冷卻裝置，其特征在于：

所述鑄錠爐的隔熱籠內(nèi)設(shè)置有隔熱門，將隔熱籠分隔為上、下腔室；

所述上腔室為加熱室，其內(nèi)容置有加熱組件和坩堝，用于熔化原料；

所述下腔室為制冷室，其內(nèi)容置有制冷組件，用于對(duì)坩堝內(nèi)的熔化原料均勻降溫，以便實(shí)現(xiàn)晶硅均勻生長。

2.按權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于：

所述上腔室內(nèi)設(shè)有定向溫度傳導(dǎo)裝置，將上腔室分為上、下兩個(gè)部分；

所述上部分設(shè)置有上加熱器和坩堝，下部分設(shè)置有下加熱器。

3.按權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于：

所述隔熱門為兩層疊加的隔溫門，其中第一層隔熱門為封閉隔熱門；第二層隔熱門為中部開口隔熱門；

所述各層隔熱門貫穿隔熱籠側(cè)壁與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)門板與隔熱籠側(cè)壁滑動(dòng)配合連接，實(shí)現(xiàn)隔熱門的開/合；

當(dāng)打開第一層隔熱門時(shí)，第二層隔熱門中部開口流過冷空氣；根據(jù)降溫速度及降溫均勻度的要求，通過打開第二層隔熱門使中部開口更大來控制冷卻氣體的傳入量，最終控制冷卻速度，控制結(jié)晶。

4.按權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于：

所述隔熱門設(shè)置為N層隔熱門；第一層隔熱門為封閉隔熱門，其他隔熱門設(shè)為中部開口；

當(dāng)隔熱門為第N層時(shí)，設(shè)置第N層隔熱門上的開口度大于第N-1隔熱門上的開口度；

其中N≧3，N為整數(shù)。

5.按權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于：

所述每個(gè)隔熱門尾端與隔熱籠側(cè)壁上設(shè)有的卡槽對(duì)接，所述隔熱門的材質(zhì)為固化碳纖維；所述開口為正方形、長方形開口。?