[實用新型]光驅動掃描微鏡有效
| 申請號： | 201220258459.8 | 申請日： | 2012-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN202693906U | 公開（公告）日： | 2013-01-23 |
| 發明（設計）人： | 徐英舜 | 申請（專利權）人： | 凝輝(天津)科技有限責任公司 |
| 主分類號： | G02B26/10 | 分類號： | G02B26/10;B81B7/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 300384 天津市華苑產*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 驅動 掃描 | ||
1.一種光驅動掃描微鏡，其特征在于：它包括微驅動器、平面彈簧、可動鏡片和光電池。微驅動器的輸出端與平面彈簧的輸入端相連，平面彈簧的輸出端與可動鏡片的輸入端相連，光電池的輸出端與微驅動器的輸入端相連；每個器件包括1個可動鏡片、2個平面彈簧、2個微驅動器和1個光電池，可動鏡片與2個平面彈簧相連，每個平面彈簧與1個微驅動器相連。?
2.如權利要求1所述的一種光驅動掃描微鏡，其特征在于：所述的微驅動器采用微加工技術制成，基于電熱驅動原理，由多層材料，如硅，二氧化硅，金屬，金屬氧化物等組成。?
3.如權利要求1所述的一種光驅動掃描微鏡，其特征在于：所述的可動鏡片的機械偏轉角度為0-45度。?
4.如權利要求1所述的一種光驅動掃描微鏡，其特征在于：所述的平面彈簧采用微加工技術制成，由多層材料，如硅，二氧化硅等組成。?
5.如權利要求1所述的一種光驅動掃描微鏡，其特征在于：所述的可動鏡片采用微加工技術制成，由多層材料，如硅，二氧化硅等組成。?
6.如權利要求1所述的一種光驅動掃描微鏡，其特征在于：所述的可動鏡片的中心部分為在二氧化硅基底上沉積的光學薄膜，反射波長為300-980納米，透射波長為1020-1550納米。?
7.如權利要求1所述的一種光驅動掃描微鏡，其特征在于：所述的光電池采用微加工技術制成，由多層材料，如硅，二氧化硅等組成；光電池的敏感波長為1020-1550納米。?
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