[實用新型]一種節能型多功能旋涂機

有效

• 申請號: 201220249303.3
• 申請日: 2012-05-30
• 公開（公告）號: CN202570544U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 吳紅艷;曾敏;徐佳;王玉瑩;姚義俊;劉斌;杭燁超
• 申請（專利權）人: 南京信息工程大學
• 主分類號: B05C11/08
• 分類號: B05C11/08;B05C11/10
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進

技術領域

????本實用新型屬于一種材料表面涂覆設備，特別是涉及一種節能型多功能旋涂機。

背景技術

旋涂機又稱勻膠機、甩膠機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、真空鍍膜機等，適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝，主要應用于溶膠-凝膠（sol-gel）實驗中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

旋涂機的旋轉速度和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性，如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差較大，尤其是某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能精確標定實時的轉速，則對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據。另外，旋涂機的真空吸附系統中的真空泵一定要壓力標定準確，同時要保證油污不會堵塞真空管道。因為真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。同時，為了節約成本，大部分旋涂機機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，對于半導體化工行業的應用來說，不銹鋼材質的旋涂機對于各類化工膠液的抗腐蝕性不好，而塑料材質的旋涂機則在較高溫和壓力下易產生變形，容易造成托盤的位置失去水平狀態，從而導致旋涂時的顛簸，影響旋涂效果。

旋涂機的種類繁多，一般都是根據涂覆的產品進行專門設計，通常旋涂機的設計多為固定形狀、固定尺寸。而在實驗室中，由于需要對不同形狀、不同尺寸的基材進行涂覆，如果根據不同的基材購置不同的旋涂機，通常采購一臺國產旋涂機需要幾千元，采購一臺進口旋涂機需要上萬元，不僅價格高昂，而且等待設備到位也極其浪費時間，同時過多的設備也會造成實驗室空間的擁擠。而對大多數實驗室來說，在實驗經費有限的情況下，通常只能采用通過搭建粗糙的實驗設備進行涂覆實驗，不僅實驗數據的精準性不高，而且會造成實驗結果一定的局限性。

發明內容

為解決上述問題，本實用新型公開了一種節能型多功能旋涂機，可以實現一臺旋涂機進行不同基材的涂覆工作，而且可以對涂料進行回收利用，結構簡單，成本低廉。

本實用新型公開的一種節能型多功能旋涂機，包括底座、支架、固定夾、旋轉裝置、由杯罩、涂覆環和盤基板組成的涂覆杯，所述的涂覆杯還包括回收裝置和試樣夾具，所述的支架的尾端與底座固定連接，所述的支架上設置有固定夾，所述的旋轉裝置通過固定夾與支架連接，所述的涂覆杯設置在旋轉裝置的上方，所述的涂覆環同軸設置在回收裝置的內部并連接到涂覆杯下端，所述的盤基板水平設置在涂覆環的內部，所述的涂覆環的表面設置有通孔，所述的試樣夾具由通孔連接到盤基板上方。

本實用新型公開的一種節能型多功能旋涂機的一種改進，所述的試樣夾具沿涂覆環徑向設置。

本實用新型公開的一種節能型多功能旋涂機的一種改進，所述的試樣夾具成對設置在涂覆環上，且至少為兩對。

本實用新型公開的一種節能型多功能旋涂機的一種改進，所述的涂覆環A-A向截面為直角梯形。

本實用新型公開的一種節能型多功能旋涂機的又一種改進，所述的回收裝置A-A向截面為直角梯形。

本實用新型公開的一種節能型多功能旋涂機，通過設置的杯罩，可以將涂覆杯進行圍擋，防止涂覆液甩出涂覆杯；通過設置在涂覆環上的通孔和試樣夾具，可以根據不同尺寸、不同形狀的基材對盤基板進行調節固定，并可以通過支承盤基板使涂料沿涂覆環環流于回收裝置內；通過設置的回收裝置，可以對多余的涂料進行存儲，同時還可以在涂料存儲滿后及時進行拆卸和清洗；通過設置的旋轉裝置可以根據不同的基材和涂覆要求進行涂覆時間和旋轉速率的調節，提高了實驗數據的精準性。本實用新型結構簡單，成本低廉，非常便于工業化生產，而且可以根據不同形狀、不同尺寸的基材試樣進行涂料涂覆，還可以在涂覆過程中回收多余的涂料并進行再利用，節約了涂覆成本，同時還可以根據需要對涂覆杯進行拆卸和清洗，保證了旋涂機的清潔和涂料的純度，延長了旋涂機的使用壽命，還可以根據不同的實驗要求選擇涂覆時間和旋轉速率，使基材達到最佳涂覆效果。

附圖說明

圖1、本實用新型的結構示意圖；

圖2、本實用新型涂覆杯的俯視圖；?

圖3、圖2的A-A向剖視圖；

圖4、本實用新型涂覆杯的立體圖；