[實用新型]硅片檢測裝置有效
| 申請號： | 201220243184.0 | 申請日： | 2012-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN202600164U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 陳光 | 申請（專利權）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01V8/12 | 分類號： | G01V8/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 214443 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 檢測 裝置 | ||
1.一種硅片檢測裝置，其特征在于，所述硅片檢測裝置包括：用于發射光線的光發射裝置和用于接收所述光發射裝置發射的光線的光接收裝置；其中，所述光發射裝置位于待檢測硅片的一側，所述光接收裝置位于所述硅片的另一側。
2.根據權利要求1所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述硅片檢測裝置還包括檢測板，所述光發射裝置內置在所述檢測板內，所述光接收裝置通過連接支架固定于所述檢測板的上方，且所述光接收裝置位于所述光發射裝置的發射范圍內。
3.根據權利要求2所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述連接支架為L形，所述連接支架包括垂直于所述檢測板的第一邊和平行于所述檢測板且位于所述檢測板上方的第二邊，所述第一邊的一端固定在所述檢測板上，另一端與所述第二邊相連，且所述光接收裝置設置在所述第二邊上。
4.根據權利要求1所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括檢測板，所述光接收裝置內置在所述檢測板內，所述光發射裝置通過連接支架固定于所述檢測板的上方，所述光發射裝置位于所述光接收裝置的接收范圍內。
5.根據權利要求4所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述連接支架為L形，所述連接支架包括垂直于所述檢測板的第一邊和平行于所述檢測板且位于所述檢測板上方的第二邊，所述第一邊的一端固定在所述檢測板上，另一端與所述第二邊相連，且所述光發射裝置設置在所述第二邊上。
6.根據權利要求1-5任一項所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述光發射裝置為發光二極管，所述光接收裝置為光效應傳感器。
7.根據權利要求6所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述光發射裝置為紅外發光二極管，所述光接收裝置為紅外光效應傳感器。
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