[實用新型]具有可調式引導單元的晶片輸送裝置有效
| 申請號： | 201220236349.1 | 申請日： | 2012-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN202721113U | 公開（公告）日： | 2013-02-06 |
| 發明（設計）人： | 王雅惠 | 申請（專利權）人： | 立曄科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 王淳 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 調式 引導 單元 晶片 輸送 裝置 | ||
1.?一種具有可調式引導單元的晶片輸送裝置，其特征在于，它包括有：
一個用以輸送至少一晶片的輸送單元；
至少一個用以引導該輸送單元輸送的晶片的引導單元，位于該輸送單元上；及
至少一個用以調整該引導單元的高度的調整支架，連接該引導單元。
2.?如權利要求1所述的晶片輸送裝置，其特征在于，所述輸送單元包括有一輸入端及一輸出端，且該晶片由該輸入端進入該輸送單元，并由該輸出端離開該輸送單元。
3.?如權利要求2所述的晶片輸送裝置，其特征在于，所述引導單元位于所述輸送單元的輸出端的側邊。
4.?如權利要求2所述的晶片輸送裝置，其特征在于，所述引導單元位于所述輸送單元的輸入端的側邊。
5.?如權利要求2所述的晶片輸送裝置，其特征在于，所述引導單元的寬度由該輸入端往該輸出端的方向逐漸縮小。
6.?如權利要求1所述的晶片輸送裝置，其特征在于，所述調整支架連接所述輸送單元。
7.?如權利要求1所述的晶片輸送裝置，其特征在于，所述引導單元位于所述輸送單元的側邊。
8.?一種具有可調式引導單元的晶片輸送裝置，其特征在于，它包括有：
一個用以輸送至少一晶片的第一輸送單元；
一個用以由該第一輸送單元接收該晶片的第二輸送單元，并用以進行該晶片的輸送；
至少一個用以引導該晶圓由該第一輸送單元輸送至該第二輸送單元的引導單元，位于該第一輸送單元及第二輸送單元之間；及
至少一個用以調整該引導單元的高度的調整支架，連接該引導單元。
9.?如權利要求8所述的晶片輸送裝置，其特征在于，它包括有一第三輸送單元位于該第一輸送單元與該第二輸送單元之間。
10.?如權利要求9所述的晶片輸送裝置，其特征在于，所述引導單元位于該第三輸送單元上，并用以引導該第三輸送單元輸送的晶片。
11.?如權利要求8所述的晶片輸送裝置，其特征在于，所述引導單元的寬度由該第一輸入單元往該第二輸入單元的方向逐漸縮小。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
