[實用新型]一種擴散爐

有效

• 申請號: 201220235938.8
• 申請日: 2012-05-19
• 公開（公告）號: CN202705570U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 梁明剛
• 申請（專利權）人: 東莞市啟天自動化設備有限公司
• 主分類號: C30B31/06
• 分類號: C30B31/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種擴散爐，包括機架，其特征在于：所述的機架由爐門開關裝置(3)和設于爐門開關裝置(3)左右兩側的左架體(11)和右架體(12)組成，所述的左架體(11)上依次設置有上下排列的傳送裝置(2)和工控系統裝置(6)，所述的右架體(12)上依次設置有左右排列的硅片擴散裝置(4)和空氣凈化裝置(5)。

2.根據權利要求1所述的擴散爐，其特征在于，所述的爐門開關裝置(3)由爐門(31)、驅動爐門(31)上下移動的第一氣缸(32)和驅動爐門(31)左右移動的第二氣缸(33)組成。

3.根據權利要求1或2所述的擴散爐，其特征在于，所述的硅片擴散裝置(4)包括擴散爐體(41)、設于擴散爐體(41)內的石英管(42)以及設于石英管(42)上的充排氣管(43)，擴散爐體(41)外設有熱偶感應線(44)。

4.根據權利要求3所述的擴散爐，其特征在于，所述的空氣凈化裝置(5)包括與石英管(42)連接的恒溫槽(51)以及與恒溫槽(51)連接的石英瓶(52)。