[實用新型]晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置有效

申請號：	201220230910.5	申請日：	2012-05-22
公開（公告）號：	CN202610326U	公開（公告）日：	2012-12-19
發明（設計）人：	胡俊濤;勾憲芳;姜利凱;王鵬;曹華斌;宋愛珍	申請（專利權）人：	中節能太陽能科技有限公司
主分類號：	C23C16/56	分類號：	C23C16/56;B08B5/02;H01L31/18
代理公司：	南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204	代理人：	繆友菊
地址：	100041 北京市石景***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	晶體太陽能電池板式 pecvd 鍍膜在線裝置
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【權利要求書】：

1.一種晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，其特征在于，包括壓力調節閥（1）、連接管路（2）及風刀（3），所述風刀（3）為中空結構，且截面為梯形，所述連接管路（2）的兩端分別和氣源（4）及所述風刀（3）下底面的進氣口連接，所述壓力調節閥（1）設置在所述連接管路（2）上，所述風刀（3）的上底面均勻設置有若干吹掃氣孔，所述風刀（3）上底面的寬度大于或等于待吹掃石墨載板的寬度。

2.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，其特征在于，所述風刀（3）上底面的吹掃氣孔均勻分為三排，氣孔直徑為0.1cm，氣孔間隔為0.3cm。

3.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，其特征在于，所述風刀（3）的長度與待吹掃石墨載板的長度相等。

4.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，其特征在于，所述風刀（3）的材質為聚四氟乙烯。

5.根據權利要求1所述的晶體硅太陽能電池的板式PECVD鍍膜的在線吹掃裝置，其特征在于，所述連接管路（2）為二分之一英寸不銹鋼管。

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