[實用新型]一種激光切割機的防護裝置有效

申請號：	201220229682.X	申請日：	2012-05-22
公開（公告）號：	CN202963793U	公開（公告）日：	2013-06-05
發明（設計）人：	孫蓓瑤;唐涌耀	申請（專利權）人：	上海華力微電子有限公司
主分類號：	B23K26/42	分類號：	B23K26/42;B23K26/38
代理公司：	上海新天專利代理有限公司 31213	代理人：	王敏杰
地址：	201210 上海市浦***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種激光切割機防護裝置
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【說明書】：

技術領域

本實用新型涉及半導體集成電路及其制造領域，尤其涉及一種激光切割機的防護裝置。?

背景技術

由于激光具有亮度強和能量密度大等特點，從而對人體的眼睛和皮膚均有傷害。（1）對眼睛的傷害：因為激光束能通過眼自身的屈光系統在視網膜上聚焦成一個非常小的光斑，使光能高度集中而導致灼傷，如燒傷生物組織，尤其是視網膜的灼傷最為常見；而處在紅外區或微波區的激光輻射由于被虹膜或晶體吸收而造成熱損傷，從而導致虹膜炎和白內障等眼科疾病。激光對眼睛的傷害與其波長、脈沖寬度、間隙時間、光束能量、入射角度、受照組織特性等因素有關。（2）對皮膚的傷害：激光對皮膚的傷害過程表現為輕度紅斑、灼燒直至組織炭化壞死，此外亦可損傷色素細胞，引起毛細栓塞，有時可見血管破漬和溢血。?

現今半導體芯片制造業中，失效分析實驗室的12英寸激光切割機從物鏡最底端到地面的距離約為1.2-1.3米，但是目前還沒有任何的防護措施來預防激光對人體造成的傷害。?

由于12英寸激光切割機主要采用的是綠光和紫外光，其損害皮膚的嚴重程度是由皮膚對激光吸收率決定的，而皮膚對激光的吸收率由激光的波長所決定，即皮膚對某波長激光的吸收率越高，受到的損傷也越嚴重。如皮膚對紫外激光的吸收率很高時，這類激光就是損傷皮膚的主要波段激光。在紫外激光照射皮膚時可以引起皮膚紅斑、老化，過量時嚴重的致癌變，對皮膚危害性最大的紫外光波在270～290nm，波長比270～290nm大的或小的其危害程度都相對地減少。?

而當實驗室人員在操作12英寸激光切割機時，激光會打在樣品上后折射出來形成一個激光折射區域（即物鏡到載物臺區域），若無任何防護措施，將對人體產生一定的傷害。?

實用新型內容

本實用新型公開了一種激光切割機的防護裝置，其中，?

至少一側面擋板，所述側面擋板上固定設置至少一滑輪和至少一直角支架；?

一激光切割機底板上設置與所述側面單板匹配的凹槽，所述側面擋板可滑動的卡接在所述凹槽內，所述滑輪隨著所述側面擋板在所述激光切割機底板上滾動，所述直角支架貼合所述激光切割機底板隨所述側面擋板滑動。?

上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述側面擋板與所述激光切割機底板垂直的端面上還設置一沿該端面開合的門板。?

上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述門板上還設置一小門。?

上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述側面擋板的高度大于150mm。?

上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述凹槽的長度大于所述側面擋板的長度，凹槽寬度大于側面擋板厚度。?

上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述側面擋板的長端面與所述凹槽卡接。?

上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述門板的高度大于所述側面擋板的高度，厚度和所述側面擋板的厚度一樣。?

上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述直角支架的高度小于所述側面擋板的高度，厚度大于所述側面擋板的厚度。?