[實用新型]一種超聲波清洗機

有效

• 申請號: 201220227718.0
• 申請日: 2012-05-21
• 公開（公告）號: CN202555543U
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 王文廣;周光進;應紅飛
• 申請（專利權）人: 浙江晟輝科技有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12
• 代理公司: 杭州之江專利事務所(普通合伙) 33216
• 代理人: 林蜀

技術領域

本實用新型涉及一種超聲波清洗機。

背景技術

目前，在晶棒切割成片的生產過程中，當切割機出現斷線問題時，通常采用卸棒后并放入超聲波清洗池中用純水洗凈晶棒表面及線縫中砂漿，然后用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中水分，再重新將晶棒裝上工件夾，將線網對入晶棒線縫，之后繼續切割；在上述方法中，完全洗凈晶棒需要一般需要幾個甚至十多個小時，不僅費時、費力、費水，而且重裝時需要精確掌握原來的晶棒位置，如果位置偏移，會使硅片彎曲，造成報廢，并產生再次斷線，導致救棒的成功率不高。

發明內容

本實用新型的目的是提供能提高救棒成功率的一種超聲波清洗機。

本實用新型采取的技術方案是：一種超聲波清洗機，包括超聲電源、超聲容器和若干超聲振板，其特征在于若干個超聲振板分別設置在超聲容器的底部和側壁上，超聲振板與超聲電源通過電源線相連接，且側壁上的超聲振板可拆卸。

采用本實用新型，可以直接將其放置到主輥之間以及晶棒的下部，將晶棒置于超聲容器內并注水、注無水乙醇進行清洗，因無需將晶棒從工件夾上取下，重新切割時的原點位置容易尋找，重裝對刀時降低了誤差，可提高救棒的成功率，既方便又快捷。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖。

圖中序號表示：超聲電源1、電源線2、超聲振板3和超聲容器4。?

具體實施方式

下面結合具體的實施例對本實用新型作進一步說明。

參照圖1，該超聲波清洗機包括超聲電源1、超聲容器4和若干超聲振板3，若干個超聲振板3分別設置在超聲容器4的底部和側壁上，其中側壁上的超聲振板3可拆卸，且超聲振板3與超聲電源1通過電源線2相連接。使用時，只要將該超聲波清洗機放置到主輥之間以及需清洗的晶棒的下部，將晶棒置于超聲容器4內并依工序注水、注無水乙醇進行清洗，因無需將晶棒從工件夾上取下，重新切割時的原點位置容易尋找，重裝對刀時降低了誤差，可提高救棒的成功率，既方便又快捷。