[實用新型]一種堿性蝕刻線氨氮排放控制裝置有效
| 申請號： | 201220224939.2 | 申請日： | 2012-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN202655172U | 公開（公告）日： | 2013-01-09 |
| 發明（設計）人： | 劉棠方 | 申請（專利權）人： | 深圳市航盛電路科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B05B15/04 | 分類號： | B05B15/04;B05B13/02 |
| 代理公司： | 深圳市科吉華烽知識產權事務所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 黃震 |
| 地址： | 518000 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 堿性 蝕刻 線氨氮 排放 控制 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種堿性蝕刻線氨氮排放控制裝置，包括傳送生產板件的傳送單元、噴淋堿性液體的噴淋單元，其特征在于，在所述噴淋單元的出口設置向所述生產板件吹氣流的風刀，所述風刀的氣流方向與所述生產板件移動的方向的角度大于90度。
2.根據權利要求1所述堿性蝕刻線氨氮排放控制裝置，其特征在于，所述風刀與所述生產板件的板面平行。
3.根據權利要求1所述堿性蝕刻線氨氮排放控制裝置，其特征在于，所述風刀為至少兩個，分別設置在所述生產板件上面和下面。
4.根據權利要求1所述堿性蝕刻線氨氮排放控制裝置，其特征在于，所述風刀的氣流方向與所述生產板件移動的方向的角度大于120度。
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