[實(shí)用新型]雙輸出移相全固態(tài)射頻電源

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220224231.7
• 申請(qǐng)日: 2012-05-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202617070U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭金;蔡超
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州瑞思杰爾電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H03H7/18
• 分類(lèi)號(hào): H03H7/18
• 代理公司: 常州市維益專(zhuān)利事務(wù)所 32211
• 代理人: 何學(xué)成

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種射頻電源，特別是一種基于MOS-FET放大器的大功率的雙輸出移相全固態(tài)射頻電源。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展，對(duì)射頻電源的需求量越來(lái)越大，特別是高功率射頻電源，傳統(tǒng)的電子管射頻電源已經(jīng)無(wú)法滿足工業(yè)生產(chǎn)的需求，其存在以下缺點(diǎn)：效率低，使用壽命短，安全系數(shù)低，功率穩(wěn)定度差，單路輸出。而高功率固態(tài)射頻電源在國(guó)內(nèi)目前還是起步階段，而雙輸出移相固態(tài)源更是空白。部分技術(shù)難題在實(shí)踐過(guò)程中尚未有效解決。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供等功率雙輸出且雙輸出相位差可調(diào)的全固態(tài)射頻電源。

為解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的雙輸出移相全固態(tài)射頻電源，包括信號(hào)源、濾波器、功放電路、合成電路和檢波電路；所述信號(hào)源輸出端連接有第一級(jí)信號(hào)放大器，該初級(jí)放大器的輸出端與低通濾波器相連接；所述低通濾波器的輸出端連接有將信號(hào)分為兩路信號(hào)輸出的功分器，所述功分器的兩路輸出信號(hào)依次連接第二級(jí)和第三極晶體管放大器，其中一路功分器輸出信號(hào)與第二級(jí)放大器之間連接有移相器；所述兩路輸出信號(hào)第三極放大器的輸出端連接有鑒相器，所述鑒相器、控制器、移相器和第二級(jí)、第三極放大器形成相位閉環(huán)控制系統(tǒng)。

所述移相器為L(zhǎng)C移相器。

所述兩路輸出信號(hào)第三級(jí)放大器的輸出端還連接有功率檢測(cè)器，所述功率檢測(cè)器、控制器和第二級(jí)、第三級(jí)放大器形成功率閉環(huán)控制系統(tǒng)。

所述功率檢測(cè)器為定向耦合器。

采用上述結(jié)構(gòu)后，本實(shí)用新型的全固態(tài)射頻電源可以提供兩路等功率輸出，且兩路輸出的相位差可調(diào)。采用閉環(huán)控制系統(tǒng)，提供了及時(shí)有效的保護(hù)措施，減小損失，且可獨(dú)立檢測(cè)每路功放的工作狀態(tài)，保證各路的平衡性。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)框圖。

圖2為本實(shí)用新型移相器的電路原理圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示的雙輸出移相全固態(tài)射頻電源，包括信號(hào)源、濾波器、功放電路、合成電路和檢波電路。所述信號(hào)源為石英晶振1輸出端連接有第一級(jí)晶體管放大器2，該初級(jí)放大器的輸出端與低通濾波器3相連接。所述低通濾波器3的輸出端連接有將信號(hào)分為兩路信號(hào)輸出的功分器4，所述功分器4的兩路輸出信號(hào)依次連接第二級(jí)和第三極晶體管放大器，其中一路功分器輸出信號(hào)與第二級(jí)放大電路5之間連接有移相器10。所述兩路輸出信號(hào)第三極放大器6的輸出端連接有鑒相器9，所述鑒相器9、控制器8、移相器10和第二級(jí)、第三極放大器形成相位閉環(huán)控制系統(tǒng)。通過(guò)鑒相器9檢測(cè)兩路信號(hào)輸出的相位，通過(guò)控制器8和移相器10來(lái)調(diào)節(jié)兩路信號(hào)輸出的相位差，使得兩路輸出相位精確可調(diào)。

如圖2所示，所述移相器為L(zhǎng)C移相器，所述LC移相器為兩個(gè)電感L1和兩個(gè)電感L2連接形成的閉環(huán)，其中一個(gè)電感L1兩端分別連接一個(gè)電容C1接地，并且在此電感L1的兩端分別連接有輸入端13和輸出端14。所述另一個(gè)電感L1的兩端分別連接可變電容C2接地。信號(hào)從輸入端13輸入，經(jīng)過(guò)LC電路后從輸出端14輸出。此移相器可以使得單路相位在0到180度可調(diào)。

所述兩路輸出信號(hào)第三極放大器6的輸出端還連接有功率檢測(cè)器7，所述功率檢測(cè)器7、控制器8和第二級(jí)、第三極放大電路形成功率閉環(huán)控制系統(tǒng)。功率檢測(cè)器7分別檢測(cè)兩路輸出的功率值，通過(guò)控制器8調(diào)節(jié)使得兩路輸出的功率相等。

所述功率檢測(cè)器7為定向耦合器。

當(dāng)然，本實(shí)用新型的移相器也可以采用其他適用的移相器，如電子移相器，這樣的變換均落在本實(shí)用新型保護(hù)的范圍之內(nèi)。