[實用新型]半導體清洗設備中的機械手夾持機構

有效

• 申請號: 201220219707.8
• 申請日: 2012-05-16
• 公開（公告）號: CN202638832U
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 卡爾·羅伯特·休斯特;祝宇云
• 申請（專利權）人: 硅密（常州）電子設備有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

技術領域

本實用新型涉及一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構。

背景技術

目前，半導體清洗設備中的機械手不能識別兩種不同規格的晶圓花籃，只能夾取單一批次的一種規格晶圓花籃，將這一批次的相同規格的產品做完，才能做另外一種規格；而且機械手也不能判斷是否夾取了晶圓花籃，常常有夾空現象發生，需要人為的干預來解決問題，降低了生產效率。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術的缺陷，提供一種結構簡單，能夠自動識別并抓取不同規格的晶圓花籃以及能夠辨別是否夾空的半導體清洗設備中的機械手夾持機構。

實現本實用新型目的的技術方案是：一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置分別驅動的兩根旋轉軸，旋轉軸上各固定有機械臂，機械臂上具有拾取器，還包括檢測旋轉軸旋轉角度的位置傳感器、與晶圓花籃接觸的檢測開關以及控制動力裝置的控制單元，所述的動力裝置為可正反轉的電機，所述的檢測開關固定連接在機械臂上，位置傳感器和檢測開關分別通過信號線與控制單元相連接。

進一步，所述的機械臂的拾取器上套有PFA管。

采用了上述技術方案后，位置傳感器可以設置為三個，分別為第一位置傳感器、第二位置傳感器和空位位置傳感器，將晶圓花籃放到指定位置后，機械手當要抓取晶圓花籃時，啟動電機使機械臂向內旋轉，當第一位置傳感器檢測到達指定角度后，如果晶圓花籃是兩種規格中較大規格的，此時檢測開關與晶圓花籃接觸，檢測開關檢測到晶圓花籃已經處在被夾持狀態，第一位置傳感器給控制單元反饋信息，停止電機轉動，即控制單元根據第一位置傳感器發出的信號來確認所抓取的晶圓花籃是第一種規格；如果機械手做夾持動作時運行到第一位置傳感器時，檢測開關并沒有檢測到晶圓花籃，則會反饋信號給控制單元，繼續做夾持動作，當到達第二位置傳感器時且檢測開關檢測到晶圓花籃，此時控制單元收到信號，說明機械手已夾住晶圓花籃并且根據第二位置傳感器來確認了所抓取的晶圓花籃是另一種規格的；當要放下晶圓花籃時，電機反轉，機械臂向外旋轉，空位位置傳感器檢測到達指定角度后，反饋信號給控制單元，停止電機轉動，而此時檢測開關與晶圓花籃很遠，沒有接觸，檢測開關會把信號反饋給控制單元，完成放開花籃動作。本實用新型可以滿足在設備特定范圍內抓取不同規格的晶圓花籃，自動識別晶圓花籃大小，無需人工更換夾具，可以自動切換清洗不同型號的晶圓花籃，且還具有防呆夾空功能，最大的減少了人工干預，自動化程度極高，提高了生產效率；PFA管，具有很強的抗腐蝕和耐高溫性能，使用它，可防止拾取器被清洗液腐蝕，提高了機械手夾持機構的壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型的半導體清洗設備中的機械手夾持機構的結構立體圖；

圖2為本實用新型的松開狀態的結構示意圖；

圖3為本實用新型的抓緊狀態的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明：

如圖1~3所示，一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置6分別驅動的兩根旋轉軸1，旋轉軸1上各固定有機械臂2，機械臂2上具有拾取器2-1，還包括檢測旋轉軸1旋轉角度的位置傳感器3、與晶圓花籃4接觸的檢測開關5以及控制動力裝置6的控制單元，動力裝置6為可正反轉的電機，所述的檢測開關5固定連接在機械臂2上，位置傳感器3和檢測開關5通過信號線與控制單元相連接。

機械臂2的拾取器2-1上套有PFA管。

PFA指的是可溶性聚四氟乙烯。

本實用新型的工作原理如下：