[實(shí)用新型]晶圓花籃卡具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220219699.7
• 申請(qǐng)日: 2012-05-16
• 公開（公告）號(hào): CN202712148U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金金明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 硅密（常州）電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225
• 代理人: 孫彬

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種晶圓花籃卡具，用于半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備中。

背景技術(shù)

目前，在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造技術(shù)中，清洗硅晶圓片是貫穿工藝制造流程中必不可少的關(guān)鍵步驟，如果硅晶圓片表面的潔凈度質(zhì)量達(dá)不到要求，無論其它工藝步驟控制的多優(yōu)秀，也不可能獲得高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件，清洗花籃及其卡具是硅晶圓片清洗工藝的重要工具，市場上也有一種晶圓花籃卡具，它利用花籃底板支撐，該結(jié)構(gòu)的晶圓花籃因?yàn)榈撞坑姓趽趺妫逑葱Ч焕硐耄逑吹馁|(zhì)量不高。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能夠提高晶圓花籃清洗硅晶圓片質(zhì)量的晶圓花籃卡具。

實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的技術(shù)方案是：一種晶圓花籃卡具，包括卡具本體，卡具本體下部的兩側(cè)各設(shè)置有卡槽，卡槽的頂端具有支撐面。

進(jìn)一步，所述的卡槽為L型卡槽。

更進(jìn)一步，所述的卡具本體由聚四氟乙烯材料制成。

采用了上述技術(shù)方案后，晶圓花籃是標(biāo)準(zhǔn)件，晶圓花籃的側(cè)邊上具有卡邊，卡邊的上方具有能夠抵住卡具的支撐面的板塊，將花籃的卡邊卡進(jìn)卡具本體的卡槽中，并利用板塊抵住卡具的支撐面，從而實(shí)現(xiàn)從晶圓花籃的側(cè)面支撐晶圓花籃，避免了從晶圓花籃底面支撐晶圓花籃，清洗效果更好，保證了清洗質(zhì)量，而且卡具整體式設(shè)計(jì)，沒有連接縫隙，不會(huì)藏有微粒，當(dāng)裝載花籃進(jìn)入槽內(nèi)清洗時(shí)，不會(huì)影響到化學(xué)藥品的潔凈度；本實(shí)用新型采用聚四氟乙烯材料制造，聚四氟乙烯具有抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑的特點(diǎn)，幾乎不溶于所有的溶劑，同時(shí)，聚四氟乙烯具有耐高溫的特點(diǎn)，這樣，就不會(huì)發(fā)生卡具在清洗時(shí)因?yàn)槎啻蔚那逑匆旱母g而不能使用的現(xiàn)象。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的卡具本體的立體圖；

圖2為晶圓花籃的立體圖；

圖3為本實(shí)用新型與晶圓花籃裝配后的立體圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，

如圖1所示，一種晶圓花籃卡具，包括卡具本體11，卡具本體11下部的兩側(cè)各設(shè)置有卡槽1，卡槽1的頂端具有支撐面2。卡槽1為L型卡槽。

卡具本體11由聚四氟乙烯材料制成。

本實(shí)用新型的工作原理如下：

如圖2、3所示，晶圓花籃12是標(biāo)準(zhǔn)件，晶圓花籃12的側(cè)邊上具有卡邊3，卡邊3的上方具有能夠抵住卡具的支撐面2的板塊4，將晶圓花籃12的卡邊3卡進(jìn)卡具本體11的卡槽1中，并利用板塊4抵住卡具的支撐面2，從而實(shí)現(xiàn)從晶圓花籃12的側(cè)面支撐晶圓花籃12，避免了從晶圓花籃12底面支撐晶圓花籃12，清洗效果更好，保證了清洗質(zhì)量，而且卡具整體式設(shè)計(jì)，沒有連接縫隙，不會(huì)藏有微粒，當(dāng)裝載花籃進(jìn)入槽內(nèi)清洗時(shí)，不會(huì)影響到化學(xué)藥品的潔凈度；本實(shí)用新型采用聚四氟乙烯材料制造，聚四氟乙烯具有抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑的特點(diǎn)，幾乎不溶于所有的溶劑，同時(shí)，聚四氟乙烯具有耐高溫的特點(diǎn)，這樣，就不會(huì)卡具發(fā)生在清洗時(shí)因?yàn)槎啻蔚那逑匆旱母g而不能使用的現(xiàn)象。

以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。