[實(shí)用新型]一種超純氣體充裝系統(tǒng)的壓力顯示單元

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220217750.0
• 申請(qǐng)日: 2012-05-12
• 公開（公告）號(hào): CN202580617U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金星屹;張根華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶瑞信氣體有限公司
• 主分類號(hào): F17C13/02
• 分類號(hào): F17C13/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種超純氣體充裝系統(tǒng)，特別涉及一種超純氣體充裝系統(tǒng)的壓力顯示單元。

背景技術(shù)

超純氣體通常指純度在99.9999%以上的氣體。瓶裝超純氣體生產(chǎn)過程中，氣瓶充裝是最關(guān)鍵的步驟。如果氣瓶充裝稍有不慎，就會(huì)導(dǎo)致氣體純度的極大波動(dòng)。高純氣體充裝有兩類方法，第一類是低壓純化后加壓充瓶；第二類是高壓純化后直接充瓶。第一類方法多在充裝純度氣體為99.999%時(shí)使用。由于隔膜壓縮機(jī)可能造成純凈氣體二次污染，充裝超純氣體時(shí)多采用高壓純化后充裝的方式。

現(xiàn)有的超純氣體充裝系統(tǒng)中通常會(huì)使用到壓力表。國(guó)家規(guī)定壓力表需要定期檢測(cè)。由于檢測(cè)壓力表會(huì)使用水壓試驗(yàn)，所有檢測(cè)后的壓力表會(huì)對(duì)充裝系統(tǒng)造成嚴(yán)重的污染。而且由于壓力表死體積較大、且水分很難置換，所以壓力表的定期檢測(cè)也對(duì)超純氣體充裝系統(tǒng)產(chǎn)生了重大的影響。有些系統(tǒng)會(huì)使用壓力變送器。雖然壓力變送器沒有強(qiáng)制檢測(cè)的規(guī)定，但是不檢測(cè)會(huì)有安全隱患，檢測(cè)后跟壓力表相同也會(huì)受到污染。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提出一種超純氣體充裝系統(tǒng)的壓力顯示單元，它能夠有效地克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，使用壓力變送器和壓力表相結(jié)合的方式，保證了系統(tǒng)的潔凈度，增加了系統(tǒng)的可靠性。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種超純氣體充裝系統(tǒng)的壓力顯示單元，包括壓力表和壓力變送器，所述壓力表和壓力變送器分別連接于氣體充裝管路上。

作為優(yōu)選，所述壓力表和壓力變送器通過三通管道的兩個(gè)末端連接于氣體充裝管路上。

作為優(yōu)選，所述壓力表的連接管路上還連接有壓力表閥和壓力表排氣閥。

作為優(yōu)選，還包括與壓力變送器雙路并聯(lián)連接的安全閥。

本實(shí)用新型的有益效果在于：采用上述結(jié)構(gòu)后，使用壓力變送器和壓力表相結(jié)合的方式，保證系統(tǒng)潔凈度，在系統(tǒng)使用前，使用已檢測(cè)的壓力表校驗(yàn)壓力變送器，增加系統(tǒng)可靠性。系統(tǒng)生產(chǎn)中，僅使用潔凈的壓力變送器，污染的壓力表不會(huì)污染系統(tǒng)。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的其中一個(gè)實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型其中一個(gè)實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1所示，一種超純氣體充裝系統(tǒng)的壓力顯示單元，包括壓力表1和壓力變送器2，所述壓力表1和壓力變送器2通過三通管道的兩個(gè)末端連接于氣體充裝管路3上，所述壓力表1的連接管路上還連接有壓力表閥4和壓力表排氣閥5。所述壓力顯示單元內(nèi)還包括與壓力變送器2雙路并聯(lián)連接的安全閥6。

在操作時(shí)，打開超純氣體充裝系統(tǒng)中的高壓純化器，使之達(dá)到工作溫度；開啟隔膜壓縮機(jī)；打開壓力表閥4后開啟進(jìn)氣閥7，觀察壓力表1和壓力變送器2讀數(shù)是否一致。如果讀數(shù)不一致，則停機(jī)檢查壓力表1和壓力變送器2。如果讀數(shù)一致，則關(guān)閉壓力表閥4和進(jìn)氣閥7，完成壓力變送器2校驗(yàn)；隨后開啟放空閥8，5秒后關(guān)閉，釋放管路壓力。即在系統(tǒng)使用前，使用已檢測(cè)的壓力表1校驗(yàn)了壓力變送,2；在系統(tǒng)生產(chǎn)中，僅使用潔凈的壓力變送器2，污染的壓力表1不會(huì)污染系統(tǒng)。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。