[實(shí)用新型]超純氣體充裝系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220217660.1 | 申請(qǐng)日： | 2012-05-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN202580629U | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-12-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金星屹;張根華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 重慶瑞信氣體有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F17D1/04 | 分類號(hào)： | F17D1/04;F17C5/00 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 401336 重*** | 國(guó)省代碼： | 重慶;85 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氣體 系統(tǒng) | ||
1.一種超純氣體充裝系統(tǒng)，包括通過(guò)管道連接的氣體純化單元、氣體壓力顯示單元和氣體充裝單元，其特征在于：所述氣體充裝單元的管路上設(shè)有壓力控制組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超純氣體充裝系統(tǒng)，其特征在于：所述氣體純化單元包括低溫儲(chǔ)罐、汽化器、隔膜壓縮機(jī)、單向閥、高壓純化器，所述低溫儲(chǔ)罐、汽化器、隔膜壓縮機(jī)、單向閥、高壓純化器之間通過(guò)管道依次連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超純氣體充裝系統(tǒng)，其特征在于：所述氣體充裝單元包括通過(guò)管道與高壓純化器連接的壓力控制組件、進(jìn)氣閥，和然后通過(guò)一個(gè)四通管道其中一個(gè)末端連接的氣體充裝管路，還包括氣體充裝管路末端連接的真空表和真空泵，所述四通管道的另外兩個(gè)末端分別連接放空閥和壓力顯示單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的超純氣體充裝系統(tǒng)，其特征在于：所述壓力控制組件為背壓閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超純氣體充裝系統(tǒng)，其特征在于：所述氣體充裝管路為兩組，采用雙路并聯(lián)的方式連接，每一組氣體充裝管路包括通過(guò)管道依次連接的充裝閥、匯流排和抽空閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超純氣體充裝系統(tǒng)，其特征在于：所述壓力顯示單元包括通過(guò)三通管道另外兩個(gè)末端連接的壓力表和壓力變送器，還包括與壓力變送器雙路并聯(lián)連接的安全閥；所述壓力表的連接管路上還連接有壓力表閥和壓力表排氣閥。
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